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多层膜软X光反射镜的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍了镍-碳多层膜软X光反射镜的设计与制造方法,特别是膜厚监控法.用俄歇谱仪分析了一个样品的剖面情况;对一些样品在1.54(?)的衍射特性和在软X光区的反射率进行了测量并与理论计算结果作了比较. 相似文献
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软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算 总被引:4,自引:2,他引:4
介绍在研制软X光激光用多层膜反射镜中发展起来的一套设计方法。给出了这类反射镜在现阶段所研究的部分X光激光波长下的设计结果。利用波动光学迭代方法模拟计算了反射镜的性能,并讨论了膜厚控制误差、表(界)面粗糙度等对性能的影响。 相似文献
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为了满足类氖-锗X射线激光研究的需要,设计制备了23.4 nm软X射线多层膜反射镜.依据多层膜选材原则并考虑材料的物理化学特性选择新的材料Ti与Si组成材料对.设计优化材料多层膜的周期厚度(d),材料比例(Γ),周期数(N),计算出Ti/Si反射率曲线.通过实验优化各种镀膜工艺参数,制备出了23.4 nm的Ti/Si多... 相似文献
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两非球面反射镜非扫描式软X射线投影光刻系统 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一个软X射线投影光刻,缩比为6:1,由两非球面镜构成的光学系统。该系统在波长为13nm时,可获得Φ30mm的平像场和优于0.1μm的光刻线条分辨率,其最大畸变为0.4%。 相似文献
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报道辐射加热金等离子X光发射时间特性,实验性在星光11上进行,采用激光波长0.35μm能量(40~60)J,脉宽(600~700)ps的高斯型脉冲,实验采用双盘靶(Au-Au)两台软X射线能谱仪(SXRES)分别监测初,次级盘对发射X光时间过程,两台谱仪采取时间关联记录,给出辐射加热金再发射X光时间特性,并分析,估算了膨胀等离子体空间发射X光的特性。 相似文献
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利用超快强光场产生的高次谐波获得相干软X射线辐射 总被引:1,自引:3,他引:1
报道了在本实验室建立的45fs-2TW级超短超强钛宝石激光装置上,以Ar气为非线性工作介质进行的高次谐波实验的初步结果。研究了激光能量和气体密度对高次谐波的影响。目前得到的最高次谐波为25次,相应波长为31.4nm,深入的实验研究正在进行之中。 相似文献
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5F软X光胶片响应特性研究 总被引:7,自引:0,他引:7
提出了5F软X光胶片对低能X射线结响应的数学模型,模型中部份参数由厂家提供,其余参数由在183eV和933eV两能点实验标定的胶片响应曲线确定,数学模型及参数有有效性用282eV能点处5F软X胶片的实验响应曲线进行了初步检验。 相似文献
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介绍拉曼自由电子激光器应用于目标的毫米波散射特性研究所做的一些探索性工作。自由电子激光器是七十年代中期出现的一种新型强相干辐射源。拉曼自由电子激光输出在毫米波段具有高功率、可调谐等优点。利用自由电子激光辐射高能量和宽频带的特点,研究及材料的毫米波散射特性,开创了新的研究方向和研究途径,具有重大的应用前景。本文在这方面进行了探索性研究,得到了一些初步结果。 相似文献
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4.48 nm正入射软X射线激光用Cr/C多层膜高反射镜的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
针对4.48nm类镍钽软X射线激光及其应用实验,设计制备了工作于这一波长的近正入射多层膜高反射镜。选择Cr/C为制备4.48nm高反射多层膜的材料对,通过优化设计,确定了多层膜的周期、周期数以及两种材料的厚度比。模拟了多层膜非理想界面对高反射多层膜性能的影响。采用直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上实现了200周期Cr/C多层膜高反射镜的制备。利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国BessyⅡ同步辐射上测量了在工作波长处多层膜反射率,测量的峰值反射率达7.5%。对衍射仪测量的掠入射反射曲线和同步辐射测量的反射率曲线分别进行拟合,得到的粗糙度和厚度比的结果相近。测试结果表明,所制备的Cr/C多层膜样品结构良好,在指定工作波长处有较高的反射峰,达到了设计要求。 相似文献