真空电子学和微波真空电子器件的发展和技术现状

真空电子学是研究真空中与电子相关的物理现象的学科,主要研究电子的产生和运动、电子与电磁波和物质的相互作用,是各类真空电子器件和粒子加速器等真空电子装置的基础。微波真空电子器件是最重要的真空电子器件,已广泛应用于国防、国民经济和科学研究领域,是军用和民用微波电子系统的核心器件,本文将介绍真空电子学和微波真空电子器件的发展历史,技术现状和应用情况,并对其发展趋势作简要的评述。     

真空电子器件与模拟技术

以宽带大功率行波管和微波功率模块为例，展示真空电子器件研制水平及计算机模拟计算技术的重要性，并简要介绍了某些国外先进的电子器件的模拟计算技术。     

用于雷达的新型真空电子器件

真空电子器件在雷达的发展历程中发挥了重要作用,是雷达系统的核心器件,两者相辅相成、相互促进。随着设计仿真能力的不断提升,以及新材料新工艺的出现,真空电子器件出现了一些新的发展动向。器件性能不断提升,也出现了一些新型真空电子器件,这都为新型雷达探测技术的发展提供了很好的器件支撑。该文从微波毫米波器件及功率模块、集成真空电子器件、太赫兹、大功率和高功率5个方面介绍了真空电子器件新的发展趋势以及所取得的最新研究成果。      

毫米波真空电子器件用陶瓷金属化技术

综述了毫米波真空电子器件用金属化技术,着重强调了金属化组分(氢化钛)和烧结工艺对金属化层介电损耗的影响。     

真空电子器件动态随机振动试验方法的研究

ＺＱＭ１－２００／１０闸流管是我国第一只通过动态随机振动试验的真空电子器件，在该管试制过程中，研制者对动态随机振动试验的方法及方法的可行性与准确性进行了深入的研究，和论证，本文对此作一简述。     

国际微波真空电子器件可靠性研究动态

我们跟踪国际最新科技并通过国际互联网INTERNET，查找到世界上最主要英国（UK）Thorn微波器件有限公司1998年公布对微波器件最新的研究成果。虽然对公布微波器件未作详细叙述，但从报导的这类器件的性能参数，可靠性水平及适应性，采用高科技的技术手段以及执行标准等方面，可以推断出目前国际上所处的最高水平，从而找出国内微波真空电子器件在这一个尖端学科中与国外相比存在的差距。1．Thorn微波器件有限公司，专门设计和生产军用雷达、电子战（EW）及通讯中所用的行波管、磁控管及速调管等微波器件，还开展对用户进行综合服务和…     

利用真空电子器件产生THz技术的发展

THz波技术在生物医学、材料科学、天文学和军事通信等方面都具有广泛的应用前景.介绍了几种能够产生THz波的真空电子器件的工作机理及其在发展过程中遇到的瓶颈问题,并得出了利用真空电子器件产生THz波的各种优势.介绍了国内外各种太赫兹真空电子器件研究的技术水平及应用现状,并对用真空电子器件产生THz波的技术进行了展望.     

微加工和太赫兹真空电子器件技术进展

本文对微加工和太赫兹真空电子器件技术进展进行了评论,讨论了微加工和太赫兹真空电子器件可能的应用,也研究了微型器件、微加工的关键技术和需要进一步研究的理论和技术问题。     

太赫兹微型电真空器件及其制造工艺

随着科学技术发展,人类对电磁频谱的掌握与应用也在不断发展,继毫米波波段开发的日益成熟之后,科学界已开始了向太赫兹领域进军。太赫兹电真空器件可以产生高功率太赫兹辐射真空电子器件,在太赫兹辐射源方面可做出很重要的贡献。本文介绍了国内外几种大力发展的太赫兹真空电子器件的研究技术水平及发展方向;重点分析了太赫兹电真空制造工艺的特点和关键技术。     

Silicon Deep Etching Techniques for MEMS Devices

Silicon deep etching technique is the key tabrication step in the development of MEMS. The mask selectivity and the lateral etching control are the two primary factors that decide the result of deep etching process. These two factors are studied in this paper. The experimental results show that the higher selectivity can be gotten when F- gas is used as etching gas and A1 is introduced as mask layer. The lateral etching problems can be solved by adjusting the etching condition, such as increasing the RF power, changing the gas composition and flow volume of etching machine.     

微型真空电子器件和太赫兹辐射源技术进展

微加工技术为真空电子技术的发展提供了新的领域和新的应用.场致发射阵列阴极(FEA)是最突出的代表.本文综述了FEA近年来的发展,特别给出了我所在FEA研究方面的新进展.已经获得5 A/cm²左右的电流密度,为进一步的应用奠定了良好的基础.国际上正在开展微型真空电子器件研究,该项研究将导致微波管体积、重量、成本的降低和工作频率、可靠性的进一步提高.微型真空电子器件可为太赫兹频域提供1W的大功率发射源.     

生物医学中的植入式电子系统的现状与发展

"植入式电子学"已成为生物医学电子学中一个极为重要的组成部分.在对目前生物医学中各种典型植入式电子系统的分析后,本文总结出了植入式电子系统的综合性结构模型,并结合国际上有关植入式电子系统最新研究的进展,讨论了系统实现的关键技术、难点以及可能的解决方法,最后讨论了植入式电子系统的发展方向.     

Hydrogel Cryo-Microtomy Continuously Making Soft Electronic Devices

Standard fabrication of soft electronic devices with both high controllability and yield is highly desirable but remains a challenge due to the modulus mismatch of component materials through a one-step process. Here, by mimicking the freeze-section process of multicomponent biological tissues containing low-modulus muscles and high-modulus bones, for the first time, a hydrogel cryo-microtomy method to continuously making soft electronic devices based on a sol-solid-gel transition mechanism is presented. Polyvinyl alcohol (PVA) electrolyte and aligned nitrogen-doped multi-walled carbon nanotube (N-MWCNT) array electrode are demonstrated as low- and high-modulus components to fabricate soft supercapacitors with high performances. Stable interfaces form between frozen PVA electrolyte and N-MWCNT electrodes with matched moduli at subzero temperature and are well maintained during cryo-microtomy process. The resulting soft supercapacitors realize controllable patterns, tunable thicknesses from 0.5 to 600 μm, high yields such as 20 devices per minute even at lab scale, and high reproducibility with over 75% devices in 15% performance fluctuation. This cryo-microtomy method is further generalized to fabricate other soft devices such as sensors with high sensing properties.     

太赫兹真空电子器件的研究现状及其发展评述

太赫兹真空电子器件具有输出功率高、可在常温下工作等优点,它在军用、民用领域有着广泛的应用前景。本文介绍了国内外各种太赫兹真空电子器件研究的技术水平及应用现状,并对其今后发展趋势作了相应的评述。     

CVD金刚石在电真空器件中的应用

介绍了化学气相沉积（CVD）金刚石膜应用于电真空器件夹持杆及输能窗方面的研究进展,和国外对CVD金刚石封接的几种技术解决方案以及国内CVD金刚石膜金属化及封接方面的研究情况。     

电真空器件钼制零件开裂原因分析

针对电真空器件的钼制零件在实际使用过程中出现的开裂现象进行了分析。并从材料的检验方法、验收标准、工艺规范等几个方面提出了改进的措施。     

开设物理及材料科学类课程情况调查

本文对目前国内高校电子科学与技术专业开设物理及材料科学类课程的情况进行了调查,结果表明:96%的高校开设了物理及材料科学类的课程,作为必修课的高校有64%,使用通用教材的高校有78%,认为开设此类课程有必要性的高校有95%,认为对学生就业和继续深造有作用的高校为100%,从而为电子科学与技术专业教学指导分委员会制定专业规范和发展战略提供了数据依据。     

A Dynamically Hybrid Crosslinked Elastomer for Room-Temperature Recyclable Flexible Electronic Devices

The rapid development of flexible electronics has resulted in serious pollution in the form of electronic waste. Accordingly, recyclability is highly desirable for these devices, but this remains a significant challenge. A dynamically hybrid crosslinked polyurethane (FPU) elastomer is designed in this study to address this challenge. Distinctive Diels–Alder adducts with suitable dissociation and reassociation dynamics are designed as crosslinking units to provide an efficient time frame for recycling. FPU is maintained in a state with a low crosslinking density after heating at 120 °C for 5 min. FPU-based electronics can therefore be dissolved in chloroform under ambient conditions to separate the electronic components and polymers for the refabrication of new electronic devices. This is the first reported thermoset elastomer that can be completely recycled at room temperature without chemical treatment to decompose the polymer chain. The design concept is applied by demonstrating the fabrication by recycling of different FPU-based flexible electronic devices: position sensor, flexible keyboard, and motion sensor. Furthermore, the FPU has many advantages as a material for flexible electronics in terms of its biomimetic mechanical properties, room-temperature self-healing, and facile processability. This study provides promising new design principles to develop materials for promoting sustainable flexible electronics.