精密可控微位移器试验研究

本文利用压电陶瓷逆压电效应研制成功了精密可控微位移器.在静动态试验下效果良好,其线性度、稳定性、回零性和滞后量均达到了理想程度,可用于机床误差补偿和热变形补偿系统中.     

超精密加工中的微位移技术

微位移技术是实现超精密加工的重要途径，据此介绍了微位移的实现方法，并对压电陶瓷微位移机构系统作了进一步的介绍，阐述了系统的组成、工作原理、结构及特点．最后进行了采用MCS-51系列单片机控制的压电陶瓷微位移机构闭环控制系统来提高工件的面形精度的实验．结果表明，工件的面形精度提高了50％以上．     

用压电陶瓷实现精密工件台的微定位控制

以压电陶瓷微位移原理为基础，对精密驱动技术在精密定位工件台上的应用作了实验研究。设计了一个包括高压精密可调电源、压电微位移驱动器、作为反馈元件的光栅干涉仪、以及由ＩＢＭＰＣ机和单片机组成的控制系统。     

基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制

在超精密光学工程等领域,为了满足大质量部件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷的纳米定位平台。该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨,由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动,通过电容微位移传感器实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制,有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性影响因素,并消除了系统由于形变或应力释放等因素产生的不确定性干扰。在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双导轨气浮承载台,显著增强了系统的载荷能力,气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性,双压电推拉式驱动方式提高了系统结构刚度,电容微位移传感器取代双频激光干涉仪或电阻式位移传感器的应用,降低了系统运行尤其是测量系统对环境条件苛刻的要求,也保证了平台进给的定位精度和长期稳定性。在载荷为100 kg情况下,定位精度达±2 nm,行程大于10μm。实验结果表明,大载荷纳米微动台能够满足大质量部件的纳米级超精密定位需求。     

纳米级压电陶瓷微位移系统的研究

介绍了一种用于纳米磨削的新型微位移系统,该系统由压电陶瓷微位移工作台和计算机控制的专用驱动电源组成,系统精度与压电陶瓷致动器和控制系统密切相关。阐述了以压电陶瓷致动器为核心的微位移工作台和驱动电源的设计原理和设计特点,并用已研制成的高精度高分辩率微位移系统实现了陶瓷样件的纳米镜面磨制。     

梯度功能压电陶瓷执行器的制备及其微位移特性

研究了ｘＰｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３－（１－ｘ）Ｐｂ（ＺｒδＴｉ１－δ）Ｏ３三元系固溶体的介电和压电性能。采用粉末冶金法制备了Ｐｂ（Ｎｉ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３－ＰｂＺｒＯ３－ＰｂＴｉＯ３（ＰＮＮ－ＰＺ－ＰＩ）系梯度压电功能材料（ＦＧＭ），研制了一种新型的ＦＧＭ高陶瓷执行器，它有三层材料构成；压电陶瓷层，中间夹层（组分梯度变化）和高介电层，其弯曲位移特性的研究结果表明在工艺电压为１００Ｖ时，室温     

动态微位移量的自动干涉测量系统

该文介绍一种可进行动态微位移测量的自动干涉测试系统。     

压电式微位移补偿机构

设计了一种压电式微位移补偿机构．采用压电陶瓷作为微位移驱动器，柔性铰链为导向机构，对传统电机驱动的丝杠螺母进给工作台运动位置进行自动补偿，实现了工作台二次精密定位．提高工作台的定位精度。设计的柔性铰链微位移放大器．可使工作台定位精度达0．01μm．满足许多精密、超精密加工场合需要。     

新型微位移电容式传感器的研制

介绍一种新型微位移电容式传感器的工作原理，探讨了一些参数对传感器的影响，并给出了实验分析的结果。     

一种微位移测试系统设计

稳定平台系统的光轴空间稳定性能测试要求实现无接触测试和动态测试,文章针对某小型稳定平台系统的测试要求,设计了一种采用高速摄像机接受自准直平行光原理的的微位移测试系统,设计的微位移测试系统可以满足大中小三种不同视场的要求,在小视场的条件下可以达到被测对象运动测量的精度小于10″的指标要求。     

线性不确定系统的稳定鲁棒动态补偿器

利用动态补偿器理论及李雅普诺夫稳定性理论研究了线性不确定系统的鲁棒控制问题,得到结论理想系统的任何一个稳定动态补偿器控制都是不确定系统的具有一定稳定鲁棒界的稳定鲁棒动态补偿器.     

神经网络补偿器在基于影像测量仪的运动控制系统中的应用

针对基于影像测量仪的运动控制系统存在的非线性误差问题,设计出神经网络补偿器.通过所采集的伺服电机的输入、输出数据,对非线性伺服电机的神经网络仿真器及补偿器进行训练.所设计的神经网络补偿器应用在运动控制的高精密定位系统上,使控制系统表现出良好的控制性能.仿真实验表明该控制器具有较强的有效性.     

基于广义动态补偿器的广义系统的特征结构配置

研究了采用动态补偿器对广义系统进行特征结构配置的问题，建立了该问题的解的参量表示，并给出了系统具有希望闭环特征结构的动态补偿器设计算法。而且，通过实例证明了该算法的有效性。     

全站仪补偿器的原理与应用

分析了全站仪竖轴倾斜误差对测角的影响,全站仪补偿器的目的和作用,补偿器的工作原理以及在实际工作中如何正确地应用补偿器.     

一种软开关式谐波补偿器的仿真研究

选择一种带交流谐振环节软开关谐波补偿器的主电路拓扑,采用正斜率锯齿载波在该拓扑下将所有开关器件的开通动作集中在锯齿载波的垂直沿处,便于软开关动作的实现.对系统进行了仿真研究,仿真结果表明采用该控制方法能实现谐波补偿器全部功率开关器件的软开关动作.     

CNS-1釉线储坯器电气控制箱的研制

给出秞线储坯器的电气控制部分原理框图以及软件编写流程。该控制系统采用单片机完成,集成度高,体积小。     

STATCOM非线性控制及节点电压稳定研究

首先建立基于d、q分解变换的STATCOM数学模型，应用零动态设计方法于仿射系统，使非线性方程线性化，从而提出具有鲁棒性的STATCOM的非线性控制规律，并应用于系统节点电压稳定性的仿真研究。通过运用MATLAB程序对三母线STATCOM系统进行仿真，在汀ATCOM容量允许范围内出现两端节点电压上升或下降的情况下，中间节点电压在0．2秒内迅速恢复。同时，从端点PV曲线可以看到电压稳定得到了较大改善。     

动态迟滞非线性自适应补偿控制方法

针对典型的动态迟滞特征模型,提出了一种新型的迟滞补偿控制方法.通过乘以一个斜率转换因子, 将具有近似线性特性的理想迟滞模型转化成实际的期望输出模型.采用自适应滑模控制原理求取迟滞补偿控制量,以保证实际的迟滞特性能够达到期望的线性输出特性.仿真实验结果表明,该自适应滑模迟滞补偿方法能够有效地补偿动态迟滞特性.     

一种新型二维小角度测量补偿器的研究

针对国内一维电容水泡补偿器的各种缺陷,提出了光电补偿器的方案,设计了总体构成,分析了测量角度与输出信号的关系.实验表明,补偿器的测量精度达到了设计要求,平均测量精度为1.5″~2″,可满足现场测量需要.