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本文采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜。 相似文献
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本文采用随机数的方法,发展了一种普适的多层膜设计方法,这种方法除可设计一般的周期多层膜,更重要的是它可以根据选定的评价因子,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软X射线多层膜制备,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性,所得结果说明多层膜的结构完整,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软X射线半反半透分束镜;分析了Ag和Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响,并对衰减系数进行了修正,为实验提供优质的衰减膜。 相似文献
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软X射线光学和周期性多层膜 总被引:2,自引:1,他引:1
本文介绍了软X射线的基本性质,它们和可见光及X射线的性质有很大的差异.这些性质决定了软X射线光学元件的特殊性.过去发展的软X射线光学元件不够理想,影响了软X射线光学的发展.近十年来发展的由轻、重元素组成的周期性多层膜使局面大为改观.多层膜的结构研究有助于指明提高多层膜质量的方向. 相似文献
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用X射线运动学理论对软X射线多层膜光栅的衍射特性进行了研究。发现其衍射规律与多层膜的布拉格衍射和普通光栅衍射有本质的区别,可将衍射能量集中于某一衍射级上,同时它又保持了多层膜的高反射率和光栅的高分辨本领等优良特性。 相似文献
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研究了低温退火Co/C软X射线多层膜中掠入射反射率的增强现象.通过测量一级调制峰强度随退火温度和时间的变化,测得了低至-10-25m2s-1的有效扩散系数.由于所研究的Co/C多层膜的调制波长远大于Co-C系统的扩散临界波长,有效扩散系数近似等于真实宏观扩散系数.负的宏观扩散系数表明,在Co-C系统中有相分离的趋势.这一结果可解释为由Miedema宏观原子模型计算得到的正的Co-C系统的混合焓.高退火温度下反射率的降低是界面锐化与界面粗糙化
关键词: 相似文献
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Four factors (the interface roughness, the monotonous thickness drift, the interdiffusion between two layers and the change of extinction coefficients) which may affect the multilayer mirror reflectivity in soft X-ray region are investigated. Some conclusions are obtained by our theoretical analysis. In long wavelength region (λ> 12nm), the change of extinction coefficients is the main cause reducing the multilayer mirror reflectivity and others (excluding the interface roughness) only shift the peak position. In short wavelength region (λ<10nm), all the four factors affect the reflectivity. In addition, the two factors, monotonous thickness drift and interdiffusion between two layers, shift the peak position. To check these conclusions, the measurement of a Nb/Si multilayer mirror fabricated by our magnet sputtering system is performed on an X-ray generator and a reflectometer installed on the Beijing Synchrotron Radiation Facility. The experimental results are in good agreement with our calculations, and the reflectivity up to 32 % of the Nb/Si multilayer mirror (with 41 layers and at wavelength 17.59nm) is attained. 相似文献
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用于惯性约束聚变诊断的软X射线探测元器件的能量响应曲线定标,利用北京同步辐射装置(BSRF-3B1束线,束流为20—80mA,光子能量为250—1000eV,通量约为1012photon/s·mm2·mr2·0.1%band width)及反射率计靶室,采用AXUV-100硅光二极管作源强绝对监测.对X射线二极管(XRD)及金刚石光电导探测器等五种探测元件进行能量响应曲线定标,获得初步实验结果,并对数据进行了分析
关键词: 相似文献
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本文分析了HL-1托卡马克等离子体的软X射线能谱,包括杂质谱线CrK_a,NiK_a,MoK_a辐射强度与孔拦半径a_L,环电流及充气压强P_H之间的关系。讨论了放电初始段、终了段及逃逸电子流较强的放电的软X射线能谱的特点。 相似文献
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强脉冲单色软X光标定源的研制 总被引:2,自引:0,他引:2
在激光打靶中,利用两块性能基本一致的多层膜镜作为色散元件,构成了一台简单实用的强脉冲单色软X光标定源。在94年度的“星光”实验中,对该光源的性能作了初步研究,取得了一定的进展 相似文献