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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 125 毫秒
1.
本文合成了4种磺酸肟酯类非离子型光产酸剂,用核磁氢谱确认了产物结构,并测试了其热稳定性、紫外吸收特性及产酸效率.结果表明,合成的4种磺酸肟酯类光产酸剂在350-450 nm和深紫外区(DUV,248 nm)都有很好的吸收,在420 nm波段曝光下,(5-对三氟甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-2)产酸率最高,可达0.96;(5-对甲基苯磺酸酯亚胺-5H-噻吩-2-亚胺)-苯乙腈(P-1)在365 nm和420 nm两个波段下,均有较高的产酸率.利用实时红外(RT-IR)研究了相同浓度下4种光产酸剂对乙烯基醚化合物引发的光聚合动力学,同时研究了光产酸剂浓度对光聚合反应的影响,发现产酸剂浓度为2%时,光照30 s乙烯基醚化合物的双键转化率(DC%)即能达到80%.  相似文献   

2.
本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀剂体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.  相似文献   

3.
制备了一种阳离子含有萘基,阴离子分别为对 甲苯磺酸、甲磺酸及三氟甲磺酸的硫盐.它们有高的热解温度和在常用有机溶剂中较好的溶解性.测定了此类光产酸剂在水溶液及聚乙二醇固体膜层中的紫外吸收特性.结果表明,阴离子不含苯基时,在193nm处有很好的透明性.考察了其在低压汞灯照射下的光解性质,在254nm附近的吸收峰随光解进行迅速减弱.此类光产酸剂适用于氟化氩激光(193nm)等的化学增幅型光致抗蚀剂.  相似文献   

4.
5.
以邻苯二甲酸酐、盐酸羟胺和对甲苯磺酰氯为起始原料,合成了非离子型光致产酸剂——N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯,对其进行了红外、核磁共振和紫外表征,测定了其化学结构、溶解性和紫外吸收等性能.结果表明,这种非离子型产酸剂较离子型产酸剂在常用溶剂中有非常良好的溶解性,并在248 nm处有好的透明性,可用于深紫外光刻工艺体系.  相似文献   

6.
化学增幅抗蚀剂用光产酸源   总被引:14,自引:0,他引:14  
对化学增幅抗蚀剂体系的组成及化学增幅作用做了阐述。介绍了化学增幅作用中的关键组分——光产酸源和酸增殖剂的发展概况,并对重氮盐、锘盐、有机多卤化物、磺酸酯类化合物等产酸源的产酸机理、适用光源分别进行了阐述。从目前国际发展的趋势来看,硫锘盐和磺酸酯类的光产酸源占据主要地位,有机多卤化物中的三嗪化合物还有少量应用。频哪醇单磺酸酯类化合物作为酸增殖剂使用较为普遍。  相似文献   

7.
合成了6种适用于248 nm光致抗蚀剂的硫鎓盐产酸剂,其中吩噻(噁)体系的产酸剂为自行设计合成. 利用IR、H NMR、UV等测试技术进行了结构表征和紫外吸收测定,各化合物的最大紫外吸收在250~285 nm之间,吸收域较宽,适用性较强.同时,利用酸敏染料罗丹明B遇酸异构变色的特点,使用紫外!可见分光光度计定量检测了6种产酸剂在乙腈溶剂中的产酸效率,其中硫杂蒽酮系列的产酸剂产酸性能最好. 最后使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,发现产酸剂的产酸性能同溶剂的选取密切相关,随着溶剂极性的减小,产酸效率随之降低. 对6种硫鎓盐的产酸效率检测结果可以为产酸剂进一步用于248 nm光致抗蚀剂配方提供详细的参考.  相似文献   

8.
杨幸幸  邹应全 《应用化学》2009,26(10):1194-1199
本文合成了六种适用于248nm光致抗蚀剂的产酸剂,其中吩噻口恶 体系的产酸剂由本研究室自主设计合成。六种产酸剂均通过IR,HNMR,UV等进行了结构表征,并利用酸敏染料遇酸异构变色的特点定量检测了六种产酸剂的产酸效率,同时使用荧光追踪法研究了溶剂极性对产酸效率的影响,优选出了硫杂蒽酮系列的产酸剂,为进一步用于248nm光致抗蚀剂提供参考。  相似文献   

9.
用分子力学、分子动力学及半经验量子化学方法研究了异丙基膦酸单烷基酯系列稀土萃取剂的空间结构和电子结构、结果表明,烷氧基上的取代基对空间位阻的影响比主碳链大。与稀土原子配位的磷酰氧原子在HOMO中的贡献较大,而LUMO轨道则主要由非配位原子的轨道组成。萃取剂中磷原子、磷酰氧原子以及羟基中氧原子上的电荷分布均随结构的变化呈规律性变化。磷原子和磷酰氧原子上的电荷分布与萃取剂的pKa值呈线性关系。  相似文献   

10.
桂皮酸作为常用的食用香料、新鲜水果和蔬菜等的防腐剂,是一种来源广泛,对人体安全的物质,被美国列为GPAS范围.有报道把它称为一种调节植物分化和生长的激素,还具有抗微生物、抗炎、抗血小板凝聚的作用[1].此外,一系列研究表明桂皮酸及其衍生物对黑色素瘤细胞、结肠癌细胞、流感病毒等多种肿瘤细胞和病毒具有抑制作用[2-6].但由于桂皮酸分子中含有羧基,对胃肠道有较强的刺激作用,因此,对桂皮酸的结构修饰已有研究报道[7].  相似文献   

11.
Solid-liquid phase transfer catalysis in the absence of any added solvent efficiently promotes Michael addition of glycine Schiff bases to phenylvinylsulfoxide. The vinyl group was formed by thermolysis of the phenylsulfinyl function.  相似文献   

12.
制备了5种三氯甲基取代的三嗪类光生酸化合物,其结构经1HNMR、IR等分析确认,分别考察了它们在有机溶剂中的溶解性,通过TG测定确定了其热分解性能,并测定了它们的紫外可见吸收光谱,以及对在405、365 nm光源下的光分解及产酸性能进行了研究.成像实验表明,它们可用于405 nm的成像组成物中.  相似文献   

13.
王瑞彬  翁江  黎逢权  鲁桂 《合成化学》2011,19(6):812-814
采用(±)-2-氮杂双环[2.2.1]庚-5-烯-3-酮开环酯化路线,以酒石酸为拆分试剂制得L-酒石酸(1S,4R) -4-氨基环戊-2-烯-1-羧酸甲酯(4),总收率45.5%,光学纯度99%.由4可合成制备帕拉米韦的中间体顺式-4-氨基环戊-2-烯-1-羧酸.  相似文献   

14.
黄如衡 《分析化学》2005,33(8):1182-1184
研究了肉桂酸、肉桂酸乙酯经UV光照后的低温燐光性质,在1mol/L HClk中UV光照使其反式异构化为顺式,烧光分别增强5与10倍。加碱碱化后燐光进一步增强2与5倍。讨论了两药燐光产生的机制,建立了低温燐光分析法,检出限分别为75与110μg/L。  相似文献   

15.
聚硅氧烷侧链高分子液晶的合成   总被引:5,自引:1,他引:5  
合成了烯丙氧基苯甲酸对苯二酚酯的衍生物,用NMR及MS对其结构进行了鉴定。  相似文献   

16.
采用化学法制备一种粒径约50nm的三氟乙酸修饰TiO2纳米微粒,并用高分辨透射电镜(HRTEM)、傅立叶红外(FTIR)和热分析(TG、DTA)、X射线粉末衍射(XRD)等手段对该纳米微粒进行了表征,用MRS 10A型四球磨擦试验机考察了该纳米微粒在液体石蜡中的磨擦学性能 结果表明:三氟乙酸修饰TiO2纳米微粒能分散于液体石蜡中且具有较好的抗磨性能,能极大地提高液体石腊的抗磨性和承载能力,降低了磨擦系数  相似文献   

17.
近年来,多酸-有机复合材料的研究,受到了人们的广泛关注犤1犦。杂多化合物是一类含有氧桥的多核配合物,作为高质子酸,可以提供质子与有机给体形成多酸-有机复合物,这类质子化状态的复合物具有良好的光敏性,这种特性在光化学、氧化还原催化等方面显示出重要用途。聚碳酸酯是一种综合性能优良的光学材料,研究以其为基材的杂多酸-有机复合材料的基本性能,对聚碳酸酯的改性、增进对这类复合材料的理论研究以及拓宽聚碳酸酯的应用都有重要的实际意义,迄今为止,尚未见这方面的报道。本文以Keggin结构钼磷酸(简写为PMo12)和聚…  相似文献   

18.
Some 3,5,6-triaryl-2-cyclohexene-1-ones and derivatives of 3,4-diphenyl-5-oxohexanoic acid are prepared by addition of phenylacetone to α,β-unsaturated compounds in DMSO under the action of aq. NaOH.  相似文献   

19.
Abstract

2-Substituted benzothiazoles ( 3a–h ) were prepared from the condensation reaction of 2-aminothiophenol 1 with aldehydes 2 in the presence of P-Ts-OH and graphite on the surface of solid mineral supports without using any oxidizing agent under microwave irradiation.  相似文献   

20.
利用2 MeV电子加速器, 在常温下采用预辐照引发接枝的方法, 在四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE)上接枝丙烯酸(AA)和对苯乙烯磺酸钠(SSS), 制备了一种含羧酸基团和磺酸基团的接枝膜. 傅里叶变换红外光谱(FTIR)分析结果证明了磺酸基团和羧酸基团的成功引入, 并对接枝膜的热力学和化学特性进行了研究. 结果表明, 随着接枝率的增加, 接枝膜的结晶度逐渐降低, 接触角逐渐减小, 接枝膜的亲水性逐渐增强. 利用制备的接枝膜构建了电阻型湿度传感器, 并测定了传感器的电学特性. 在相对湿度(RH)从5%变化到98%时, 传感器电阻线性变化范围接近4个数量级, 具有响应速度快(吸附<1 min, 解吸<2 min), 湿滞小(<2%RH)的特点.  相似文献   

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