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厚膜压力传感器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
用厚膜工艺制造压力传感器。研究了厚膜是民阻浆料的是电阻率与压阻系数的关系,承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韬Al2O3陶瓷,大大地提高了压力感器的性能,对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法。 相似文献
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通过对小量程智能厚膜压力变送器的传感器新技术、变送器智能化硬件、软件技术研究,以及对抗干扰和封装技术的设计,介绍了该变送器的工作原理及特点。研制结果表明,小量程智能厚膜压力变送器由于智能化的实现,克服了该类压力变送器的不足,进一步提高了变送器的温度性能和精度,拓宽了应用范围,并且结构简单,功能性和可靠性增强。 相似文献
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用厚膜工艺制造压力传感器.研究了厚膜电阻浆料的电阻率与压阻系数的关系.承压基片选用ZrO2-Y2O33mol%增韧Al2O3陶瓷,大大地提高了压力传感器的性能.对承压片的应力分布进行了分析,介绍了压力传感器的结构设计方法 相似文献
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报道了采用陶瓷厚膜作为绝缘层、ZnS:Mn作为发光层的橙色电致发光器件(TDEL).介绍了器件的制造工艺,测量了器件的电致发光光谱、阈值电压、亮度与电压、亮度与频率关系.结果显示厚膜电致发光器件比薄膜电致发光器件有更低的阈值电压. 相似文献
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为了提高陶瓷厚膜无机电致发光显示器的亮度,采用陶瓷基片/内电极/陶瓷厚膜/发光层/上绝缘层/透明电极的器件结构系统研究了ZnS∶Mn发光层的制备工艺.结果表明当优化的发光层厚度为600 nm,沉积温度为280℃时制备ZnS∶Mn发光层可以获得器件的最大亮度.在高温500℃退火时,器件的亮度-驱动电压曲线最优.发光层结晶性的改善和Mn 的均匀扩散,使得优化的沉积温度和退火温度制备的ZnS∶Mn发光层具有良好的光电特性. 相似文献
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冯景星 《福州大学学报(自然科学版)》1992,(3):28-31
结合扩散硅压阻式压力传感器的研制.根据硅的压阻效应原理,利用方形硅膜的应力分 布公式,论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施. 相似文献
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为了提高陶瓷厚膜无机电致发光显示器的亮度,采用陶瓷基片/内电极/陶瓷厚膜/发光层/上绝缘层/透明电极的器件结构系统研究了ZnS:Mn发光层的制备工艺.结果表明当优化的发光层厚度为600 nm,沉积温度为280 ℃时制备ZnS:Mn发光层可以获得器件的最大亮度.在高温500 ℃退火时,器件的亮度-驱动电压曲线最优.发光层结晶性的改善和Mn 的均匀扩散,使得优化的沉积温度和退火温度制备的ZnS:Mn发光层具有良好的光电特性. 相似文献