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相似文献
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1.
数字化智能四探针测试仪的研制   总被引:6,自引:0,他引:6  
徐远志  晏敏  黎福海 《半导体技术》2004,29(8):47-48,52
将传统直流四探针测试仪与嵌入式系统相结合,研制出数字化智能四探针测试仪.该仪器可以自动识别被测样品电阻率,并自动切换到最佳档位,操作简便工作效率高,具有一定的实用和开发价值.  相似文献   

2.
李艳红 《电子世界》2012,(12):101-101
直流四探针测试法通过测量材料的电阻率可以得到材料的掺杂浓度等重要信息。本文介绍了设计了一种基于数字化信号处理技术的智能直流四探针测试仪,具有高精度、抗干扰能力强、体积小、功耗低、人机界面友好等特点,介绍了系统的原理、整体架构及各个模块的功能,详细阐述了系统的硬件设计和软件流程。  相似文献   

3.
提出了一种基于PIC单片机和AD7705实现模拟信号的高精度采集的设计方案.选用PIC18F458为主控制芯片,AD7705为A/D转换器,通过SPI通讯接口进行连接,其中利用6N136对接口进行光电隔离来提高通讯可靠性.根据所采集信号的不同范围,在信号输入前端加入滤波电路然后通过MCP602和反馈电阻进行相应倍数的精密放大以满足AD7705的采集范围要求,并且采用MCP1525为AD7705提供基准电压以保证信号采集的精准度.此外,为了使PIC18F458能够保持高效稳定地工作,采用HT7044组成单片机复住电路.实验结果表明,该系统应用于工业现场进行模拟信号采集,无论是采集精度还是稳定性都达到了理想的效果,实现了模拟信号的高精度采集.  相似文献   

4.
半导体四探针测试仪新型恒流源的开发   总被引:1,自引:0,他引:1  
首先根据四探针测试理论,阐述了恒流源电路在四探针测试仪中的重要性,给出了对恒流源的基本要求。然后介绍了我们在开发前期实验过的2种恒流源电路,它们分别是级联型镜象电流源电路和电压-电流转换电路。最后介绍了我们实际采用的直接利用反馈运放输出恒流的电路。对每种电路都给出了原理图、电流计算公式和性能分析。  相似文献   

5.
AD7705/AD7706的原理与应用   总被引:9,自引:0,他引:9  
AD7705/AD7706是AD公司新推出的16位∑-△型AD转换器,它带有增益可编程放大器,可通过软件编程来直接测量传感器输出的各种微小信号。文中介绍了AD7705/AD7706的特点,结构和使用方法,给出了它与AT89C51进行接口的应用电路和软件程序清单。  相似文献   

6.
基于AD7705的在线激光功率检测系统设计   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍基于Cx51的软单片机控制技术和AD7705模/数转换器的在线激光功率检测系统的工作原理和结构组成;设计了信号的采集、放大、测量、显示等内容;详细讨论了AD7705模/数转换器与AT89S51单片机接口电路的设计.由于采用AD7705简化了硬件,使系统响应迅速、测量精度大大提高,满足了在线检测的要求.设计中采用一种"抽样检测"的方法,设计出一种通用电路模型,满足了系统测量激光波长范围宽的要求.  相似文献   

7.
8.
一、概述全自动四探针电阻率测试装置是为硅单晶电阻率标准量值传递而研制的,但也可以作为一般硅单晶片的电阻率测试用.该装置已于去年十月通过国家鉴定.以后又经过半年多的应用考察,取得了满意的结果.故作如下介绍,仅供参考.  相似文献   

9.
16位Σ-Δ模数转换器AD7705及其校准   总被引:5,自引:3,他引:5  
AD7705是AD公司推出的16位高性能、低功耗ΣΔA/D转换器,具有增益可编程放大器,可通过编程直接测量传感器输出的微弱信号。介绍了AD7705的基本特点、结构以及常用片上寄存器的格式与编程注意事项。自校准和系统校准可消除偏置和增益误差,由于现场条件变化不定,还详细介绍了适用于特定条件的现场校准与手动校准,最后给出了数据手册中没有的手动校准实例。  相似文献   

10.
介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法,将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试,并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论.应用此测试方法得到了75mm的全片电阻率分布的mapping图,测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性,是一种行之有效的测量方法.  相似文献   

11.
斜置式方形探针测量单晶断面电阻率分布mapping技术   总被引:3,自引:0,他引:3  
介绍了一种应用斜置式方形探针测量单晶断面电阻率的测试方法 ,将Rymaszewski直线探针测试方法引入到方形探针测试 ,并对测试过程中产生的游移以及图像监控问题进行了讨论 .应用此测试方法得到了 75mm的全片电阻率分布的mapping图 ,测试结果表明该方法可以在测量区域明显减小的同时保证测量的精确性 ,是一种行之有效的测量方法  相似文献   

12.
李晨山  孙以材  赵卫萍   《电子器件》2006,29(4):1078-1080
为了适应半导体生产工艺发展的要求,我们开发了一种利用改进的Rymaszewski法进行四探针硅片电阻率测量的单片机电路。它主要包括恒流源和电压测量电路两部分。它不仅可以显示恒流源电流以便在其发生变化时进行调整,而且可以方便地实现四根探针分别经过四次轮换供给电流和测量电压,进而提高测量结果的精确性。  相似文献   

13.
用直排四探针方法测试硅抛光片的电阻率时,减少表面复合和增大测试电流故意引进注入使电阻率减少,根据电导率与少数载流子寿命成正指数增加的关系,求得少子寿命.  相似文献   

14.
周全德 《半导体学报》2001,22(3):292-294
用直排四探针方法测试硅抛光片的电阻率时 ,减少表面复合和增大测试电流故意引进注入使电阻率减少 ,根据电导率与少数载流子寿命成正指数增加的关系 ,求得少子寿命  相似文献   

15.
16位∑—△A/D转换器AD7705与微控制器的接口设计   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了16位∑-△A/D转换器AD7705的特点、结构和应用,并举例说明这种串行输入/输出的A/D的转换器与微控制器的一般接口方式,指出了微控制器对AD7705片内寄存器编程的关键,并且给出了数据手册中没有的C51接口读写程序。  相似文献   

16.
基于零中频正交解调原理的频率特性测试仪,用于检测被测网络的幅频特性和相频特性。系统采用集成数字直接频率合成器AD9854产生双路恒幅正交余弦信号,作为扫频信号源,以FPGA为控制核心和运算平台,结合滤波器、放大器、混频器及ADC电路,实现对双端口网络在1-40MHz频率范围内频率特性的点频和扫频测量,并在LCD屏上实时显示相频特性曲线和幅频特性曲线。本文网络版地址:http://www.eepw.com.cn/article/271655.htm  相似文献   

17.
介绍了煤矿用远程数据采集与传输系统的工作原理和软硬件实现方法,提出了改善数据远程传输方式的措施.现场试验数据表明,该远程数据采集与传输系统性能稳定,抗干扰能力强,具有一定的实用价值.  相似文献   

18.
采用四探针与C-V两种测试仪器,对同一参数的外延片电阻率进行测试,测试结果表明,用四探测针试外延陪片和C-V测试处延片,测得的外延电阻率存在差异。分析造成差异的原因,得出了符合要求的校正系数。  相似文献   

19.
电阻率是半导体材料的重要电学参数之一,对于最常见的硅单晶材料而言,也将直接影响到其功能特性,通过对单晶施加的不同探针加力得到所测量单晶的电阻率相对标准偏差与相对误差,探讨四探针法测量连续硅单晶电阻率的准确度问题,150gf加力下测试标准偏差相较于其他加力降幅明显,但120gf加力下测试相对误差相比于其他测试加力降幅最大可达 1%,因此120gf加力附近时,探针与硅片表面的接触相对另外选取几个加力选取值来说可以达到最优状态。  相似文献   

20.
研制出检测U L SI芯片的薄层电阻测试仪,可用于测试无图形样片电阻率的均匀性,用斜置的方形四探针法,经显微镜、摄像头及通信口接入计算机,从计算机显示器观察,用程序及伺服电机控制平台和探针移动,使探针处于规定的位置,实现自动调整、测试;对测试系统中的探针游移造成的定位误差进行分析,推导出探针游移产生误差的计算公式,绘制了理论及实测误差分布图;测出无图形10 0 m m样品电阻率,并绘制成等值线Mapping图.  相似文献   

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