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1mm压电柱式超声微电机的研制 总被引:8,自引:0,他引:8
介绍了一种超声波微电机的设计研制工作。这种基于压电柱弯曲振动模态的超声波微电机,其直径仅有1 mm细,长约5 mm,重量仅有36 mg。它是采用压电柱作为定子,在压电柱的表面均匀分割出四个电极,进行极化和施加驱动电压。详细介绍了极化方式的选择,电极间隔的优化设计以及对原型样机的性能测试。实验表明,该电机能承受350Vpp的驱动电压,获得1800 rpm的转速和4 μNm的堵转力炬。此外,这种电机具有明显的微型化优势,根据现有工艺还可使电机直径减小到0.5 mm左右。 相似文献
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苏毅 《工程物理研究院科技年报》2008,(1)
1 电子学
在微电机技术研究方面,体硅溶片工艺研究取得新进展。结合新建成的体硅MEMS工艺平台,开展了体硅溶片关键工艺研究。体硅溶片工艺能力达到线宽2μm、结构层厚度20-30μm、横向加工误差1μm,键合对位精度3μm、硅-玻璃间隙小于5μm。使用体硅溶片工艺研制出梳齿结构硅微加速度计样品。研制出φ11mm和φ28mm两种专用微型行波超声波电机。通过理论分析和试验研究了影响超声波电机可靠性和稳定性的关键因素。 相似文献
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光学材料破坏的超声模型 总被引:4,自引:0,他引:4
给出了光学玻璃材料在强泵浦光作用下由光弹耦合激发超声波的瞬态受激布里渊散射理论模型,通过几个合理的近似利用数值计算给出该过程激发的超声波强度对泵浦光强度以及脉宽的依赖关系,计算表明光泵浦光强度超过一定阈值后该超声波能引起光学材料的破坏。 相似文献
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利用超声波声速测定仪测定出超声波在不同浓度NaCl溶液中的传播速度.实验给出,超声波在NaCl溶液中的传播速度与溶液浓度呈线性关系.溶液温度对超声波波速也有影响,并从理论作了分析研究,给出了合理的解释. 相似文献
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气垫平台实验中自浮式运动体电源的改进齐敏(天津商学院数理系)我院所用天津大学机工厂生产的气桌,其运动体自带气源,是采用Ni-Cd蓄电池—微电机—鼓膜泵的结构.运动体能否平稳自浮,是这个实验的关键.通过使用,我感到Ni-Cd蓄电池作为微电机的电源在使用... 相似文献
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在过去的20年里,随着微纳米先进制造水平的提高,微流控技术作为微电机系统(microelectromechanical systems或MEMS)的一个重要分支,也得到了前所未有的快速发展。 相似文献
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介绍声光效应的最新理论进展。采用光栅假设,对各向同性介质中的声光效应作了简要讨论,导出了第m级衍射光的衍射效率公式。研究和介绍一种新的声光效应实验装置。在实验中,应用线阵CCD光强分布测量仪等,通过改变超声波的频率和功率,分别实现了对激光束方向的控制和强度的调制;定量给出了声光偏转量的关系曲线和声光调制测量的关系曲线。实验表明,在布喇格衍射下,通过固定超声波功率,测量衍射光相对于零级衍射光的相对光强与超声波频率的关系曲线,不仅可以计算声速,还可以确定声光器件的带宽和中心频率。 相似文献
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我们研制的超声波交通流量检测仪,具备有检测车辆高度、长度、行驶速度,判别车辆类型,分类给出各种类型车辆的流星功能,它可以为提高交通通行能力提供重要的数据. 相似文献