光学工艺 光学加工工艺与设备

TH703 2006043703用校正法提高补偿器检测法的精度=I mproving precisionof null lens method with correctiontechnique[刊,中]/郭培基(苏州大学现代光学技术省重点实验室.江苏,苏州(215006)) ,余景池∥光学精密工程.—2006 ,14(2) .—202-206研究了一种测量、分离补偿法检测补偿器非圆对称误差的技术,这种技术基于波面误差可用泽尼克圆多项式来表述。通过使补偿器或被测非球面绕系统光轴旋转到多个不同的角度,得到多个测量结果。根据这些测量结果,计算得到由补偿器误差带来的波面误差的非圆对称项泽尼克圆多项式系数,接着根据这些非圆对…     

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TH703 2005021527 非球面最适球面的确定方法-三点法=Determination of aspheric reference sphere by tri-point method[刊,中]／王红 军(西安工业学院光电科学与工程学院.陕西,西安 (710032)),田爱玲…//应用光学．-2004,25(4).-63-65 根据非球面生产的实际情况,指出非球面最适球面的 确定方法,详细分析最适球面的计算方法,并对一抛物面 进行了实倒计算。通过与最小二乘法的计算结果比较,指     

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TQ171.68 2006032713非球面复制成型技术的研究=Research on the asphericaloptical replication technique[刊,中]/王勤(苏州大学,江苏现代光学技术省重点实验室.江苏,苏州(215006)) ,余景池…∥光学技术.—2006 ,32(1) .—121-123光学非球面复制成型技术是一种通过面形转移的方法成型光学非球面的技术,即将高精度非球面光学元件(母模)的表面利用脱模膜和胶粘剂转移到球面光学元件(基体)的表面上,并保持原非球面光学元件的光学品质,使球面变成非球面。介绍了该技术的基本原理以及所进行的工艺实验(镀膜、脱模、胶合等) ,给出了母模和复制…     

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TN305．2 2006065453红外材料硅透镜加工工艺研究=Fabrication technology of IR Si lenses[刊,中]/徐岩(中国空空导弹研究院．河南,洛阳(471009)),李善武…//红外与激光工程．—2006,35 (3)．—359-361,370介绍了单晶硅材料加工透镜的工艺过程,着重研究了硅透镜的抛光技术,通过使用不同的抛光粉及抛光模层材料,找到了加工硅透镜的最佳工艺匹配条件。实验结果表     

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TQ171．683 2005053948 KDP晶体塑性域超精密切削加工过程仿真=Simulation of ultra-precision cutting process of KDP crystal in ductile mode[刊,中]／陈明君(哈尔滨工业大学精密工程研究所． 黑龙江,哈尔滨(150001)),王景贺…∥光电工程．-2005, 32(5)．-69-72 提出了压痕实验与有限元仿真结合的方法。它采用 压痕深度与有限元仿真深度进行对比,可求解出KDP晶 体的塑性特性参数。建立了KDP晶体塑性域切削的有限 元模型,仿真研究了切削参数对KDP晶体表面形成过程 的影响。结果表明,在刀具前角为-40°左右时,工件表面 质量可达到最佳值。研究还发现,当刀具刃口半径为80 nm时,其能够产生切屑的最小切削厚度在10～30 nm之 间,此时法向切削力与主切削力之比为0．96,该结论对 KDP晶体超光滑表面的获取有着重要指导意义。图6参 6(严寒)     

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TQ171.65 2004053915瑞奇-康芒法中的一种数据处理方法=A data processing method in Ritchey-Mommon test[刊,中]/田秀云(中科院光电所,四川,成都(610029)),吴时彬…∥光电工程,—2004,31(1)。—23-25,31 通过在光瞳面上取点的方法,找出被检平面镜面误差与检验系统波像之间的相互关系,即影响函数。利用     

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TQ171.652006010749应力盘智能控制盘面面形的表征方法及检测技术的研究=Method for representing the surface and testing technol-ogy of stressed-lapin CMACcontroller[刊,中]/范斌(中科院光电技术研究所.四川,成都(610209)),杨力…∥光学技术.—2005,31(5).—751-753,757分析了CMAC神经网络应力盘智能控制中面形表征及检测的特点,提出了以Zernike多项式系数用于表征应力盘盘面面形的方法。以微位移阵列传感器检测得到的原始数据经插值拟合重构出盘面面型数据,再经Gram-Schi mdt正交化后拟合出的Zernike多项式的系数,以此作为CM…     

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TQ171．65 2005032360 利用计算机辅助装调检测矩形大口径离轴非球面的方法 研究=Study on testing methods of large-aperture rectangle off-axis aspherical surface with computer aided alignment [刊,中]／杨晓飞(中科院长春光机所．吉林,长春 (130022)),韩昌元∥光学技术．-2004,30(5)．-532-534 通过非球面的零位补偿法,完成了对矩形大口径离轴 非球面镜的检测。先用光学设计软件Zemax从理论上分     

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TQ171.682006054698离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整技术研究=Re-search on off-axis conic asphere null testing using comput-er-aided alignment method[刊,中]/薛栋林(中科院长春光机所光学技术研究中心.吉林,长春(1300330),郑立功…//光学精密工程.—2006,14(3).—380-385分析了非球面补偿检验过程中由补偿器和镜面支撑结构的失调引入的调整量误差,给出了计算机辅助调整方法。建立了离轴二次非球面补偿检验计算机辅助调整系统的物理数学模型,求解了被检非球面镜的失调方位和量值,利用计算机控制调整架实现了系统辅助调整。建…     

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TH706 2005043142 轻量化碳化硅反射镜支撑方案分析=Analysis on support structure of lightweight SiC reflecting mirror[刊,中]／黄启泰(苏州大学现代光学技术研究所,江苏,苏州(215006)), 余景池／／光学技术,-2005,31(2),-252-255,258 讨论了轻量化碳化硅反射镜的支撑方案。利用有限元力学分析方法,对大口径轻量化主镜进行了在两种工况下的支撑方案分析和优化。通过运用最小二乘法对支撑后的镜面进行拟合,使两种工况下的主镜面形变化的均方差均在λ／60(λ=632．8 nm)之内,满足了实际的工程要求。图7表2参4(杨妹清)     

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TH703 2005064469 Φ1 m平面镜的力学分析及实验研究=Mechanical analysis and experimental study of the Φ1 m flat mirror[刊,中]/郭 永卫(中科院国家天文台．北京(100012)),杨世模…∥光 学技术．-2005,31(4)．-618-621 空间太阳望远镜(SST)的装校需要一个倒置的直径为 1 m的平面镜,此平面镜的面形精度决定了SST的装校成     

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TN305.2 2007054867pH值对铌酸锂晶片抛光速率及抛光表面的影响=Effectof pHon polishing velocity and glazed surface of LN wafer[刊,中]/武晓玲(河北工业大学微电子研究所.天津(300130)) ,刘玉岭…//半导体技术.? 2007 , 32(1) .?37-39采用化学机械抛光方法,自制碱性抛光液     

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TQ171.65 2004064466 光学非球面二次曲面常数及顶点曲率的研究=Study of conic constant and paraxial radius of optical aspheric[刊,中]/程灏波(清华大学精仪系.北京(100084)),王英伟…∥光学技术.—2004,30(3).—311-313,317 基于二次曲面方程。推导出确定光学非球面二次曲面常数k以及顶点曲率半径r的一组算法,并在对一块口径为760mm×200mm标准非球面反射镜的实际测算中进行拟合。经过优化,拟合精度达到△k=0.015,△r=0.341mm,从而有效地控制了光学非球面制造过程中的顶点曲率及二次曲面常数的偏差。图3表3参3(严寒)