氟化氩离子准分子真空紫外辐射

利用激光等离子体软Ｘ射线为激励源，首次观察到离子性氟化氩准分子在１２５ｎｍ附近的真空紫外辐射，其实验结果与理论计算值符合很好。     

小型激光等离子体软X线－真空紫外辐射的研究

设计了一种小型激光等离子体软Ｘ线－真空紫外光源。该光源辐射强度高、波段覆盖宽、光谱连续平滑，其重复性、稳定性均优于±４．５％。适合在非同步辐射的一般实验室中使用。在亚微米光刻、软Ｘ射线显微术、真空紫外光谱学、薄膜光学常数测试等研究及应用技术领域具有广泛的实用价值。本文探讨了光源的辐射机制，给出了较理想的光谱测试结果。     

电子泵浦KrF准分子激光的一维动力学研究

对电子束泵浦KrF准分子激光进行了一维动力学模拟研究,考虑了24种粒子,119种反应通道。较为细致地研究了一维模型的物理机制及数学处理方法。运用该模型对国外实验结果作了模拟计算,结果符合较好。对原子能院电子束泵浦百焦耳级准分子激光器进行了模拟计算,给出了一些激光参数随时间、纵向位置的变化规律。最后对零维模型和一维模型的计算结果作了比较。     

紫外准分子激光损伤典型光学材料的特性分析

根据已经建立的紫外准分子激光损伤典型光学材料的理论模型,研究了准分子激光对透明光学材料（石英玻璃）和非透明光学材料（K9玻璃）的损伤特性,并结合实验结果证实了理论模型的有效性。研究表明：在准分子激光对非透明光学材料辐照下,激光光斑半径越大,产生的热应力和温度越小;脉宽越小,产生的热应力越大;随着脉冲数的增加,温度和热应力都逐渐增大。值得注意的是,当重频增加至45 Hz以上时,熔融损伤阈值开始低于应力损伤阈值,这说明当重频增加到一定程度时,非透明光学材料将首先产生熔融损伤,而不再是应力损伤。在准分子激光对透明光学材料辐照下,杂质微粒的半径和掩埋深度对光学材料温度场分布有着重要影响。但当杂质半径和掩埋深度超过一定的数值时,杂质粒子的存在与表面温度并无联系。理论模型能够较好地解释石英玻璃前/后表面相同的初始损伤形貌特征。     

百焦耳级KrF准分子激光实验

介绍闪光II号加速器泵浦的百焦耳级氟化氪激光研制情况,给出了激光器的构造和主要性能。在二极管电压为840kV,电流为200kA条件下,获得了157J的最大激光能量,峰值功率为2.0GW。研究了激光输出能量随F2和Kr气体浓度的变化规律。     

远紫外及真空紫外反射率测量的研究

本文报道了一种采用成象式折叠腔测量真空紫外区域绝对反射率的方法,测量准确度为±5×10~(-3),精密度为±5×10~(-4).     

准分子激光等离子体开关控制脉宽研究

利用准分子激光等离子体技术,在紫外预电离XeCl准分子激光器上获得了最短1.58 ns的短脉冲激光输出。实验中分析了聚焦到薄膜表面的光束能量密度对所产生的等离子体密度的影响,并对不同等离子体密度及维持时间情况下脉冲压缩效果进行了讨论,给出了激光器谐振腔在稳定腔及非稳腔两种工作方式下的实验结果。激光器在稳定腔工作时,脉宽可压缩至2.87 ns;采用非稳腔结构时,在脉冲能量不变情况下减小聚焦光斑面积,提高入射到薄膜表面的能量密度,得到了最短1.58 ns的短脉冲激光输出。该技术适用于任何其它准分子器件。     

真空紫外光谱时空分辨测量

利用光谱仪前置旋转多面镜技术，在单次托卡马克脉冲放电过程中实现了真空紫外光谱的时空分辨测量，避免了传统测量方法因连续重复放电带来的不准确性。．     

Brightness-Spectrum Characteristics of the Surface Laser Plasma of Polymeric Targets in the VUV Spectral Region

The brightness-spectrum and energy parameters in the VUV range of the spectrum (h 9–70 eV) of the surface laser plasma of polymeric targets in vacuum are determined experimentally. Using the experimental technology of double open and closed ionization chambers (as radiation detectors) requiring no absolute energy calibration in a wide range of regulation parameters of the effect of standard laser frequencies, we obtained new data on multifactor radiative gasdynamic processes of effect which are needed to determine emission and mass-output characteristics of the targets irradiated under vacuum.     

深亚微米激光光刻研究

报道用远紫外准分子激光进行亚微光刻的实验结果，以波长为２４８．３ｎｍ的ＫｒＦ准分子激光为光源，以光管均匀器为主构成照明系统，采用带有平行平板为像差样正板的１：１折反射投影光刻物镜，在两种光刻胶上分别获得了０．６μｍ和０．５μｍ的光刻分辨率。     

A Quenched Dye Laser Pumped by a KrF Excimer Laser

ＡＱｕｅｎｃｈｅｄＤｙｅＬａｓｅｒＰｕｍｐｅｄｂｙａＫｒＦＥｘｃｉｍｅｒＬａｓｅｒ￥ＸＵＥＳｈａｏｌｉｎ；ＬＯＵＱｉｈｏｎｇ；ＨＵＡＮＧＨｕｉｊｉｅ；ＤＵＬｏｎｇｌｏｎｇ（ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓａｎｄＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉ...     

XeCl准分子激光光束均匀器及其应用

采用光束均匀器，改善ＸｅＣｌ准分子激光器输出光束强度的分布，其起伏优于２％，用这一装置测量了Ｃ６０薄膜的刻蚀阈值，并完成了准分子激光改变Ｃ６０薄膜电导率的实验研究。     

准分子激光功率标准探测器的研制

采用高热导率碳化硅陶瓷作为吸收体材料,基于厚膜技术制作电热单元,研制了10 mW～1 W电校准准分子激光功率标准器,基于电替代法实现激光功率量值复现,量值复现不确定度达到0.26%（k=1）。在脉冲激光条件下对SiC陶瓷和几种常用的面吸收体材料进行了激光损伤测试,结果显示高热导率SiC陶瓷具有较高的抗损伤性能,设计的锥形结构吸收体在248 nm准分子激光条件下能量损伤阈值为2.2 J/cm2。在多波长下基于积分球系统测量了腔体吸收率,介绍了248 nm准分子激光条件下吸收率测量方法,设计的腔体在几种波长下吸收率大于0.99。基于电校准法实验测量了标准器的光电等效性,灵敏度光电不等效修正因子为1.002 6。     

ArF准分子激光振荡放大系统的研究

研究了ＡｒＦ准分子激光振荡放大系统，中心波长１９３ｎｍ，用一只闸流管作为开关元件，通过主充放电网络匹配，有效地解决了两台器件的放电抖动，振荡放在倍数达到约５０倍，系统单脉冲输出能量５０ｍＪ，光束发射角低于０．２０ｍｒａｄ。     

VUV信号强度与等离子体宏观参数相关性分析

东方超环(EAST)上高速真空紫外(VUV)成像系统是一套选择性测量中心波长为13.5 nm的等离子体线辐射的光学成像系统。此系统具有高时空分辨能力,主要用于边界(包括台基区)等离子体行为研究。该系统已经投入EAST等离子体物理实验并获得了大量的实验数据。基于这些数据,分析了VUV诊断系统的信号强度与等离子体宏观参数之间的相关性,着重研究了EAST上中性束注入(NBI)加热功率、杂质(碳和锂)水平、电子密度等因素对VUV信号强度的影响。结果与预期基本一致：随着NBI功率的增加,VUV信号强度随之增强;VUV信号强度与电子密度、杂质水平呈现线性关系。此外,本文还评估了由于NBI注入引起的电荷交换复合产生的C⁵⁺离子对VUV信号的贡献,结果表明这部分贡献可以忽略不计。