ArF和KrF准分子激光器用的光学材料和膜层的抗激光强度

可靠的拥有更短波长的准分子激光器的建成，几乎取决于其光学问题的解决，这些问题主要涉及腔的光学器件：各种反射率的镜子，准分子激光器的输出窗口。本文将在ArF和KrF准分子激光波段范围（λ=248um～193um）进行讨论。1．准分子激光器的窗口材料随着波段向紫外和真空紫外进展，透明材料的数量逐渐减少，由于对透过率、化学稳定性、极小吸湿度、价格和高均匀性的要求，最后只有极少部分可广泛用于准分子激光的输出窗口。对于XeCl和XeF激光器，其波长为308um和353um，理想的窗口材料为优质石英。如果波长再短些，石英的使用就要受到限…     

准分子激光器及其应用

本文评述了准分子激光在激光加工、激光医疗中的应用前景,非线性光学在准分子激光技术中的运用,以及近年来高重复频率与高亮度准分子的激光器件的新进展。     

KrF准分子激光器光刻技术

半导体国片的尺寸已从150mm扩大到200乃至300mm。圆片尺寸的扩大无疑会提高芯片的产量。但要想达到这一目标,还需要解决一些相关的问题。 例如,当前有必要开发可用于制造0.25至0.30μm器件的KrF准分子激光器光刻技术。批量生产16兆位的DRAM采用了i线光刻技术。然而生产256兆位和集成度更高的器     

小型KrCl准分子激光器的实验研究

本文报导了一台小型ＫｒＣｌ准分子激光器的工作性能；其单脉冲能量达５４ｍＪ。并分析了影响ＫｒＣｌ准分子激光器寿命的原因。     

放电准分子激光器的泵浦强度

放电准分子激光器的泵浦强度引言众所周知，准分子激光器要求相当高的泵浦强度水平。放电准分子激光器中一般的泵浦强度为每立方厘米几十兆瓦到几兆瓦［‘－’］，而且对于某些类型的准分子激光器，从最大泵浦效率的角度来看，这一参数的最佳值完全不同。例如，对于含氟气...     

远紫外膜层的抗光损伤研究

1.概述由于准分子激光器的各种优良输出特性,使得它非常适合于各种精密材料处理和生物医学等设备的应用。但是,直到目前为止,由于光对光束传输系统器件,尤其是对膜层的损伤,使系统的可靠性受到限制。光学器件制造商们已经在致力于解决这个问题,并使常用膜层的使用寿命提高一个数量级以上。新的研究方案能使抗光损伤的能力得到进一步的提高。在准分子激光器应用领域中,增长最快的是光致折射率改变角膜剥离手术(PRK)和光刻技术。在PRK技术中,它是利用激光烧蚀剥离角膜眼外科手术去矫正近视。为了确保手术成功,必须严格控制光束的均匀性和激光脉冲     

249nm激光脉冲宽度对氧化物和氟化物多层膜破坏的影响

高功率、短波长准分子激光器的发展，产生了对具有更高激光损伤阈值（LDT）的介质紫外镜面膜的需要。大部分商用准分子激光器以几十纳秒的脉冲长度运转，所测得的阈值一般为每平方厘米几焦耳。但用于现时的激光与等离子体物理研究的脉定通常为10ps或更短，对249urn的激光损伤阈值的发表数据文献[1～3]与纳秒或更长的脉冲有密切关系。即比来自实验室激光器的典型短紫外脉冲长3到4个数量级。得出转换关系如下：上式可用于微秒至纳秒区的其它一些波长，其指数取值在0．3至0．5之间。当缺乏短脉冲激光损伤阈值的数据时，皮秒紫外激光系统的设…