离子束成膜技术

本文简要介绍了几类离子柬成膜技术：离子束沉积和外延；离子束辅助沉积和离子蒸发沉积；集团离子束沉积；离子束溅射沉积。     

集团离子束成膜技术

１９７２年,日本京都大学电子学系的高木俊宜等人提出了一种新的成膜技术,叫做集团离子束成膜技术．这种技术有一系列优点：成膜速度快,每分钟可达数十毫微米到数微术．膜的密度接近大块物质的密度,膜和基板的附着力强．可以控制生成膜的性质,可以在较低基板温度下生成单晶膜、非晶膜、金属膜、绝缘体膜、化合物膜和高分子膜,成膜质量优于其他成膜技术．近年来这项技术发展较快,日本三菱电机、真空技术、双叶电子工业等?...     

单离子束技术概述

 对单离子束的发展和应用作了介绍。结合我国首台单离子束装置CAS-LIBB,综合讨论了准直器限流型和静电透镜聚焦型两种典型单离子束的技术结构。限流型结构简单但定位精度有限,聚焦型条件苛刻但可获得亚微米束,是单离子束发展的趋势。评估了前探测、全前置探测和后探测3种单离子束探测方式及其特点,研究了这3种探测方式对辐照离子的计数精度和单离子束品质产生的影响。对CAS-LIBB装置研制了光导型全前置探测器以提高计数精度和束流品质。最后设计了快速荧光在线检测技术方案。     

离子束刻蚀技术研究

本文介绍了离子束刻蚀技术的原理,讨论了刻蚀速率与离子束流密度、离子能量和离子束入射角度的关系。实验结果与理论分析有较好的一致性。     

离子束修形技术

 离子束修形技术具有精度高、确定性好等优点,应用越来越广泛。介绍了离子束修形技术的原理和特点,以及国外离子束修形技术的发展历程和现状,并介绍了国内离子束修形技术的发展现状。针对当前离子束修形技术的研究热点,如中高频误差控制技术、驻留时间求解算法和加工工艺等方面,综述了国内外的研究现状。     

分子自组装成膜技术

分子电子器件是跨学科的前沿领域,分子自组装技术是解决分子电子器件与外界连接的最有效手段之一。文章综述了分子自组装成膜技术的发展概况及其在分子电子器件中的一些应用和最新进展。     

重离子束适形放射治疗技术

重离子束适形放射治疗技术主要包括束流配送系统和治疗计划系统等 .前者是实现重离子束适形放射治疗的硬件设施 ,后者为适形治疗的软件支撑系统 ,两者缺一不可 .鉴于重离子束与物质相互作用在物理学及生物学效应上表现出的特殊性,重离子束治癌中特别引入了面向生物学效应的适形治疗和束流的正电子断层在线监控技术. The conformal radiotherapy techniques mainly include the two systems that are beam delivery and treatment planning. The formal is the hardware basis while the later is the software supplement for heavy ion conformal therapy, they are dependent on each other to realize the cancer conformal therapy with heavy ion beam. Because of the specificities of interaction between heavy ion and target on both physics and biological effects, the heavy ion cancer therapy especially involves...     

离子束溅射镀膜技术研究

本文介绍了离子束溅射镀膜原理,对淀积束率与离子能量、束流密度的关系进行了实验研究。实验结果与理论分析有较好的一致性。     

微波等离子体离子束刻蚀技术

自行设计研制了一台微波电子回旋共振等离子体刻蚀系统。该系统采用微波直接通过石英窗口产生右旋圆极化波，由Nd—Fe—B永磁磁钢形成高强磁场，通过共振磁场区域内的电子回旋共振效应产生均匀的高密度等离子体。利用该系统，结合光刻技术和反应离子束刻蚀技术，在以碳氢（CH）等元素为主要组成的有机聚合物（PMMA）表面制备出线宽3-4μm的光栅形图形。原子力显微镜（AFM）测试结果表明，所得图形线条清晰，侧边比较陡直。     

快离子束激光光谱技术

本文阐述了快离子束激光光谱技术的发展及其特点,简要介绍了分子离子光碎片光谱、高分辨光谱和时间分辨光谱。     

强流离子束发射度测量技术

强流离子束的发射度测量与弱流相比有很多需要特殊考虑之处.介绍了北京大学先后研制的三台强流离子束发射度测量仪所采用的测量和数据处理方法,包括本底扣除和阈值设置、强流脉冲束的测量方法、误差的主要来源及其控制与校正等.     

强流离子束发射度测量技术

强流离子束的发射度测量与弱流相比有很多需要特殊考虑之处. 介绍了北京大学先后研制的三台强流离子束发射度测量仪所采用的测量和数据处理方法, 包括本底扣除和阈值设置、强流脉冲束的测量方法、误差的主要来源及其控制与校正等.     

先进的离子束技术和材料改性

介绍了离子束形成、材料改性的科学意义及离子束在国民经济和国防中的地位和应用．     

快速分子离子束技术的发展动态

随着天体物理、等离子体物理和固体物理等学科的发展,对分子离子的研究日益引起人们的重视．近年来,由于现代加速器的技术成就,人们在研究中广泛采用了各种束流技术,其中包括新发展起来的快速分子离子束技术．这一技术是采用快速分子离子（离子速度一般可达１０８厘米／秒）轰击箔靶,由箔靶诱导分子离子离解,通过研究离解后所产生的碎片,来了解分子离子与物质相互作用的新现象．在不少情况下可得到以前不知道的有关分子?...