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李留臣 《电子工业专用设备》2008,37(3):20-23
硅单晶生长设备——单晶炉是一种高技术含量的电子专用设备,由于太阳能光伏产业的飞速发展,设备的需求量不断扩大,对设备的性能要求更高,进行设备开发设计时不但要了解硅单晶生长的工艺要求,还要掌握机械、电子、计算机、真空、热动力学等方面的专业知识,只有将相关先进技术有机地集成在一起,才能够形成先进合理、可靠实用的单晶炉设备。 相似文献
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采用新工艺、新技术对激光、氧化物晶体生长炉的提拉装置进行全新设计,并对其精度进行了综合分析。该提拉装置精度高、稳定性好,适合生长大直径晶体,满足大规模工业化生产的需求。 相似文献
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梁秀梅 《电子工业专用设备》2001,30(3):34-37
在单晶生产过程中 ,对单晶提拉速度有十分严格的要求 ,针对实际情况设计并分析了一种实用的、在极低转速下调速的控制系统。用该系统来控制提拉机械 ,具有结构简单、造价低的特点 ,实测表明系统的性能满足生产要求。 相似文献
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中国电科芯片研究院生产的JGD提拉单晶炉是一种上称重自动直径控制激光单晶炉,它实现了提拉法晶体全自动智能生长控制。利用JGD提拉单晶炉控制软件建立提拉法晶体数学模型,晶体生长全程以数学模型为标准,以晶体质量为控制量进行实时闭环反馈控制。该软件建立的晶体数学模型有四段式晶体数学模型和任意多段晶体数学模型两种形式。在设计放肩段时,四段式晶体数学模型充分体现了晶体籽晶段与放肩段、等径段三位一体平滑过渡的理念;而任意多段晶体数学模型在曲线设计上更加灵活多样,晶体数学模型设计更便捷。JGD提拉单晶炉控制软件晶体数学模型被广泛用于多种晶体生长过程,如InSb、YAG 等晶体。晶体外形控制良好、品质优良。 相似文献
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为了制备组份均匀的HgCdTe材料,设计了一种在超重力条件下制备HgCdTe材料的晶体生长系统。超重力由离心机产生,HgCdTe熔体在超重力条件下产生的重吧用来抵消Bridgman生长过程中产生的组份分凝,为了获得组份均匀的HgCdTe晶体,必需在Bridgman生长过程中,随剩余熔体长度的变化改变离心机的转速,通过理论推导,求得离心机转速与剩余熔体长度的关系。 相似文献
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分析了采用滑阀式真空泵直拉单晶炉真空系统的缺点;通过改造真空系统,将水环式真空泵应用在直拉单晶炉设备上,提高了直拉单晶炉的整体性能. 相似文献
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在采用柴式(Czochralski, CZ)法生长重掺砷(As)单晶硅的过程中,掺杂剂——As具有较强的蒸发性。
为了有效抑制As蒸发对单晶硅电阻率的影响,需要测定As的蒸发速率常数。通过实验测量
给出了晶体样块中As浓度随蒸发时间的变化曲线,然后对实验曲线进行了线性回归分析,得到了
重掺As单晶硅制备中As的蒸发速率常数(1.43×10-4 cm/s)。该结果在实际应用中被验证是正确而有
效的,这对精确控制重掺As单晶硅的电阻率有着重要意义。 相似文献
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