紫外激光刻蚀聚酰亚胺

本文报导了紫外激光(308nm,266nm)刻蚀聚酰亚胺的阈值、刻蚀速率、分辩率等实验结果,并对结果进行了分析讨论。     

以激光车床进行微小立体形状加工法的研究

以激光车床进行微小立体形状加工法的研究１．前言在机械加工中。用车床能容易和高速加工立体形状，自古沿用至今，但加工形状只限于对称旋转体。若用激光蒸发、刻蚀等方法代替车床切削加工，高速控制激先输出，加工的形状就不限于旋转体，而是任何立体几何形状。人们期待...     

准分子激光直接刻蚀聚酰亚胺技术研究

一、引言随着大规模集成电路和集成光学的不断发展,对加工技术的要求越来越高,如目前提出图形的精细化,过程低温化,掺杂薄层化及可控性优化等,而准分子激光器则以它能量高、波长短(200～400nm)等优点为解决这些问题提供了有利条件。于是,八十年代开始形成了准分子微细加工新兴技术领域。准分子激光微细加工大体可分为激光曝光技术,激光CVD     

用全息照相法分析闹市区车床结构的特性

本文以实际测定和理论分析两方面总结了地面干扰力对车间地面上进行连续波激光全息照相的影响，从而提出了针对不同地面稳定性条件应该采取的对策，使连续波激光全息照相不仅能在内陆地区（如西安市），而且能在沿海城市（如上海地区）的地面上进行。扼要介绍了在上海市区的一个未经隔振工作台上拍摄仪表车床的动刚度全息照相结果。     

现代激光医学

最近在西德慕尼黑召开的激光及医学光电子学会议、1981年在日本东京召开的第四届国际激光外科学会议和美国激光医学与外科学会第二次会议，均证实激光医学已有了惊人的进展。另一个证据是世界各地激光医学学会的发展，包括新成立的激光医学谘询委员会国际联合会已参与世界卫生组织（WHO）的工作。更加令人喜悦的是激光工业的发展，现在终于为激光生物医学仪器提供了市场。     

高分子聚合物材料激光处理及其在微电子工业中应用

综合介绍了激光处理聚酰亚胺等高分子聚合材料及其在微电子工业中一些新的应用，阐述了材料在吸收激光能量后产生的一系列可能会发生的能量转换和一些令人感兴趣的改性。此外还着重介绍了聚酰亚胺材料的激光感应电导在近几年的研究进展以及我们在这方面的研究工作，这一工作在精细加工微制造工业，尤其是在对提高集成电路的集成度，缩小集成电路内部器件尺寸等方面有广泛的应用前景。     

日本微电子和光电子工业中激光组装技术的应用及展望

本文综述了激光组装技术在日本微电子和光电子工业中的应用及发展前景。目前日本已开发出各种激光器和材料加工技术，并已应用于电子和光电子器件制造业，以满足用户对高性能、轻量化、低能耗移动式数字消费电子产品、宽带光纤通信、低尾气排放效能的灵活控制的小汽车等领域的需求。本文重点阐述固体激光器作为多用途光源在组装具有小特征尺寸的灵敏无源和有源器件的先进微型装置中的应用，以及固体激光器用于电子和光电子器件材料加工领域的代表性应用，如液晶显示器缺陷的调修、功能组件微调、光电子器件光学特性的精调、高密度互连电路的打孔、非晶硅太阳能电池的激光加工以及电子元件的高精度激光焊接(如光学模块、微型继电器和锂离子电池)。最近高功率超短脉冲固体激光器领域的进展使激光加工能力迅速提高．如在滤光片精调中的应用。     

日本激光加工的现状及其在汽车工业中的应用

本文综述了日本激光加工技术研究、开发、应用的现状和今后的发展动向，介绍了为提高材料利用率、减少冲压模具数量、增加制造系统的柔性，日本企业将激光加工技术应用于汽车车体制造的实例。     

紫外激光光刻经济合算

紫外激光光刻经济合算往往会发生这样的情况，技术进展可使以前不经济的过程忽然变得富有生命力。在印刷电路板工业中，使用紫外激光的机器现正认为是制造电路板导体图样的重要工具。接触印刷机之类的普通曝光工具需把图样制在玻璃或胶片光掩模上。直接写人光刻的过程则以...