微结构特性的光学测试平台

微结构是微机电系统的基本元件,其几何尺寸、运动特性、材料及力学特性直接影响微机电系统的整体性能。提出一种将计算机微视觉、米劳显微干涉、频闪成像和激光多普勒测振等技术充分融合的微结构静态和动态特性的光学测试平台,分别对微谐振器的平面和离面周期运动特性和微机械扭转镜的离面瞬时运动特性进行测试研究。实验结果表明,利用计算机微视觉和频闪成像技术能够实观微结构的平面位移、运动相位及喈振频率等周期运动参量的测试．位移的重复精度为30nm;利用显微干涉和频闪成像技术可实现微结构的离面位移及表面扭曲等周期运动参量的测试．位移的重复精度为3nm;激光多普勒测振技术具有在频域上对微结构瞬态运动进行分析的优点．是时域上周期运动测试的重要补充。     

利用光切方法测量微结构的三维微运动

微结构动态特性的测试方法对研发可靠的、能市场化的微机电系统(MEMS)是必需的。开发出了一种测试系统,能使微结构的三维运动可视化。系统包括:利用光学显微镜来实现微结构的放大,并将图像投影到CCD摄像机上;利用光切方法来获取一系列图像,以此来表征微结构的三维运动;利用频闪照明来冻结微结构的高速运动。通过研究微加工水平谐振器在激励条件下的三维运动,论证了系统的功能。     

薄膜光学 光学薄膜参数测试

O484．5 2005010457 Cu块材及Cu膜的光学常数研究=Study of microstructure and magnetic properties of manograin NixCu1-x films[刊, 中]／孙净奇(安徽大学物理系．安徽,合肥(230039)),蔡琪…∥安徽大学学报(自然科学版)．-2004,28(2)．-28- 33,39 用反射式动态椭圆偏振光谱技术对Cu块材、Cu薄膜及Cu厚膜的光学常数进行了测试分析。研究结果表明,     

三维相位展开算法在精密运动测试中的应用

三维相位展开算法将基于空间的相位展开算法拓展到时间轴上,包含了一维时间和二维空间信息,适合于运动测试。通过建立一维时间相位展开算法的数学模型,分析了该算法运动测试的基本原理,讨论了在精密测试中的使用方法和适用范围,并对微谐振器的微结构进行运动测试。实验表明,算法在相位展开中引入时间信息,不仅消除了形变测量中需选取静止点为相位参考点或参考平面的限制,还可以同时测量物体表面某点纳米级的离面运动曲线和表面形变。     

小型光学天线系统光传输特性测试平台研究

利用牛顿反射式光学天线对接系统构建了光传输测试平台,重点研究了高精度准直,牛顿反射式光学天线及其光传输特性等主要内容;得到了激光632.8 nm波长的天线效率、天线耦合效率和光纤耦合岀射三维光斑测试结果与仿真验证.为实际研究大气激光通信系统中光学天线光传输特性提供了实验依据.     

光学测试 光学系统测试与设备

TH7032006010675光学三维测量中结构光栅投影系统的开发=Developmentof structure fringe projection system for optical three-di-mensional measurement[刊,中]/樊强(上海交通大学计算机集成制造研究所.上海(200030)),姜涛…∥光电工程.—2005,32(10).—66-69为解决结构光三维测量系统中的光栅投影质量问题,提出并实现了以物理光栅为核心的结构光栅投影系统。该系统以现代光栅制造技术制造的精密光栅元件为核心,基于幻灯投影原理实现高质量的光栅条纹投影,利用步进电机带动高精度滚轴丝杆进行平移实现投影光栅的切换。实验结果表明,基…     

光学测试 光学系统测试与设备

TH741.12006054586基于LabVIEW的光强测控实验系统的设计=Design oflight intensity measuring and controlling experi ment sys-tembased on LabVIEW[刊,中]/张青春(淮阴工学院电子信息工程系.江苏,淮安(223001)),武莎莎//仪表技术.—2006,(2).—17-19采用具有USB接口的DYU18数据采集器,快速组建基于LabVIEW7.1的测控技术实验系统。以光强测控实验系统为例,详细介绍基于虚拟仪器技术的测控技术实验系统的设计方法。图4参3(严寒)光学测试 光学系统测试与设备…     

光学测试 光学系统测试与设备

TH741．4 2005021458 合肥同步辐射反射率测量装置=Refleetivity measuring device the in National Synchrotron Radiation Laboratory [刊,中]／薛松(中科院长春光机所．吉林,长春(130033)), 邵景鸿…//光学 精密工程.-2004,12(5)．-480-484 分析设计并研制了同步辐射计量光束线的反射率计 系统。该反射率计工作波长5～100 nm。角分辨率0.005°,     

OTF测试系统软件分析

本文介绍了GCA Tropel 2000MK-Ⅱ光学传递函数(OTF)测试系统的计算机软件,着重分析了测试参数的选择与计算、自动调焦和OTF 计算等过程。     

光学测试 光学元件测试与设备

TB96 2005053880 简易修正角误差的回复反射器CIL测试系统=Retro-re- flector CIL testing system based on facilly amending angle error[刊,中]／徐欣锋(中科院长春光机所．吉林,长春 (130031)),冯毅…∥光电子·激光．-2005,16(2)．- 175-178 介绍了一种单探头式汽车回复反射器发光强度系数 (CIL)检测的基本原理、系统结构和实测过程。为了实现 对检测系统中转台角误差的快速修正,提出一种简捷修正     

光学测试 光学元件测试与设备

TH741.120060545852m测长机光栅数显装置=Grating and digital display ap-paratus of2mlength measuring machine[刊,中]/黄健(中国空气动力研究与发展中心计量测试站.四川,绵阳(622653)),沈景鹏…//宇航计测技术.—2006,26(2).—8-12介绍了2m测长机上安装光栅和数显装置的目的、装置的构成、主要技术指标、技术途径及其问题的解决办法,最后阐明了对其装置的技术性能考核结果和应用的实际意义。图5表3参6(严寒)光学测试 光学元件测试与设备…     

一种三维变形光学测量系统及微结构力学性能测试应用

描述了一种使用显微栅线投影技术和数字图像相关技术同时测量微结构三维形貌和变形的光学测量系统.在此系统中,正弦栅线通过相移投影器投影到被测物体表面,变形的条纹图由高分辨率的CCD相机和显微镜头采集并保存.相移技术处理条纹图得到形貌和离面变形,同时从相移图像中提取出被测物表面纹理,数字图像相关技术处理变形前后表面纹理得到面...     

光学测试 光学元件测试与设备

TB92 2005043040 光学投影式检测非球面器件的模拟计算=Simulation cal- culation of measuring optical aspheric surface based on light pattern projection[刊,中]／段存丽(西安工业学院光电科学与工程学院．陕西,西安(710032)),田爱玲…／／光学仪器,-2005,27(1),-47-51 针对光学投影式检测非球面器件过程进行模拟,利用光学的基本理论和数学公式推导,对非球面度的检测过程进行了理论分析及精密计算,并对理论分析的结果进行了     

光学测试 非光学量测试与设备

TB92 2006065385两种不同照明方式的三维轮廓检测分析=Analysis of 3-D profilometry with two different illuminative modes[刊,中]/焦春妍(昆明理工大学．云南,昆明(650093)),陈希慧//光电子·激光．—2006,17(6)．—709-713根据标量衍射理论,讨论了两平面波干涉场的空间分布与平行投影正弦光栅的等价性。基于几何光学分析,讨论了物体轮廓对平行投影及发散投影结构光场调制问题,导出了与这两种照明方式相适应的高度公式。通过测量的理论模拟对所导出公式的可行性做出了证明。图5参10(严寒)     

光学测试 材料光学性能测试与设备

TB96 2005010653 注汽油井蒸气汽液比的折射率法测量研究=Vapor-to-water ratio measurement in steam injection oil well by refractive index method[刊,中]／梁培(苏州大学现代光学技术研究所．江苏,苏州(215006))．余建军…∥光学学报．- 2004,24(8)．-1107-1110 研制的测量装置采用蓝宝石作为折射率敏感的探测头,直接对汽液两相流的比例变化产生响应,能够应用于高温高压及狭窄工作空间的输汽环境中。装置在锅炉输汽管道中的实测响应曲线反映了输汽过程中汽液比的真     

微结构形貌的光场显微三维重构分辨率增强技术

扫描式的测量技术是目前微结构表面形貌测量的主流技术,但需要高精度的机械扫描、较长的测量时间。针对其问题,结合光场显微技术和傅里叶叠层显微技术,提出了一种分辨率增强的三维重构技术,通过在常规显微成像系统中加入光学编码元件,使用单次曝光而获得被测工件的光学切片序列,基于傅里叶叠层显微技术实现了对切片图像横向分辨率的增强,克服了光场成像技术中的分辨率损失。实验证明,提出的三维重构技术对于微结构表面加工过程的在线测量具有较好的应用前景。     

光学测试 光学测试理论

TB9212006054584几种平面度误差分离方法的分析=Analysis on severalmethods of flatness error separation[刊,中]/李晓飞(东北大学机械工程与自动化学院.辽宁,沈阳(110004)),张镭…//宇航计测技术.—2006,26(2).—4-7,50介绍了多测头平面度误差分离的几种方法,包括递推逐次两点法、最小二乘逐次两点法、二维频域直线三点法等,并对这些方法存在的问题作了简要说明。最后指出相对于直线度误差分离技术已经趋于成熟而言,平面度误差分离技术还存在诸多问题有待于解决。图5参5(严寒)光学测试 光学测试理论…     

第十三届全国光学测试学术交流会第一轮征文通知

受中国光学学会委托,中国光学学会光学测试专业委员会定于2010年7月在武汉召开第十三届全国光学测试学术交流会．本届会议由武汉大学和湖北省光学学会承办。     

光电子技术与器件 光电成像与器件

TH703 2005064334 距离选通成像系统分辨力模拟测试装置的设计=Design of the resolution simulation measurement setup for range- gated imaging system[刊,中]/李丽(北京理工大学信息科 学技术学院光电工程系．北京(100081)),高稚允…∥光学 技术．-2005,31(4)．-545-547,550     

光学测试 光学系统测试与设备

TH703 2006032605辅助透镜构造开普勒望远系统法测量热焦距=Measure-ment of thermal focus length by accessorial lens to consti-tute Keplerian telescope system[刊,中]/王菲(长春理工大学光电工程学院.吉林,长春(130022)) ,冯进良…∥光电子·激光.—2006 ,17(2) .—219-221基于望远系统的工作原理,提出了辅助透镜与热透镜构成开普勒望远系统的方法来测量工作物质对指示光的动态热焦距,结合指示光与Nd∶YAG激光波长关系推导工作物质对Nd∶YAG激光的动态热焦距。研究结果表明,该方法测量精度小于±5 mm。图4参11(严寒)光学测试 …