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CSPM 930b型多功能扫描探针显微镜经常需要进行手动激光光路调整。该仪器使用说明书[1] 介绍的调整方法可操作性差、手续繁琐、过程冗长 ,且难以判断激光束是否准确照射到微悬臂针尖背面的镀金层上 ,往往造成误判而导致微悬臂针尖被撞断裂。而且 ,按照原有方法操作者需要长时间全神贯注观察激光斑 ,使用者眼睛极易疲劳甚至造成损伤。笔者使用该仪器过程中 ,对光路调整方法进行了大量试验 ,摸索出了一套操作方便 ,容易准确判断针尖位置的有效方法。现总结交流如下。调整方法CSPM 930b扫描探针显微镜AFM部分激光光路如图 1所示。… 相似文献
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提出和发展了一种激光光路跟踪型原子力显微镜(AFM)技术及系统。研制了新型AFM探头,设 计了与XY扫描器联动的跟踪透镜及扫描跟踪光路,实现激光束对微探针(微悬 臂)的XY扫描的实时跟踪;研 究设计了独特的反馈跟踪光路,既可实现微悬臂偏转量的精确检测,又可巧妙地消除因微探 针的Z向反馈运动 造成的干扰噪声。利用研发的AFM系统对多孔氧化铝纳米孔等具有不同横向与 纵向结构尺寸的微纳米样品进行了扫 描成像,得到了理想的实验结果,表明研发的系统具有优良的XY扫描跟踪特性 和Z向反馈跟踪性能。本文研发的 AFM系统原理新颖、方法巧妙、扫描成像性能好和分辨率高,克服了常规样品 扫描型AFM的局限性,能够以 微探针扫描的方式实现不同大小、不同重量的样品的AFM扫描成像,可望在微纳米技术领 域获得广泛应用。 相似文献
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偏振补偿是偏振编码量子密钥分发(QKD)系统的一项关键技术。介绍了利用偏振控制器和双向光路进行偏振补偿的基本原理,简述了偏振编码的QKD系统中常用的光纤信道偏振补偿方案,包括双向光路偏振补偿方案,中断式偏振补偿方案,时分复用(TDM)偏振补偿方案和波分复用(WDM)偏振补偿方案。 相似文献
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本文讨论圆柱形细长工件激光热加工技术所需的专用光路的设计原理,重点介绍具有径向和轴向均匀加热性能的四种光路的元件,布局及其技术性能和优缺点。 相似文献
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准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子能量高、脉宽窄、脉冲功率密度高的特点,其光子能量甚至高于某些材料的化学键而可以实现冷加工,并且波长短,聚焦光点小,所以加工精度高.但这毕竟不是一种成熟的技术,在很多方面还需要进行进一步的研究.
由于掩模投影成像法的加工为并行加工,加工速度快,加工精度高,可一次成形,为了能够控制加工的精度,必须要求激光光束均匀一致.而由于各种材料都有一定的刻蚀阈值,如果能量利用率过低,就会使准分子激光加工的范围变小.光束辐照强度分布均匀性与光能利用率,这是在光路调整中需要考虑的最为重要的两点.
采用均束器后,准分子激光光束的发散角对均束效果有较大的影响.而真正的光路调整需要综合考虑均束效果、能量利用率.由于光束经过均束器后发散角变大,必须采用场镜压缩发散角.由于准分子激光光束尤其是经过了复眼均束器后的准分子激光束已经远离纯几何光线或高斯光束的传播规律,场镜的尺寸选择不能依据传统的几何光学算法.我们按照发散角原则来对场镜参数进行计算,结合实验测量,最终得到了比较好的结果.(PE7) 相似文献
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用于激光核聚变的装置CCD光路自动准直 总被引:2,自引:0,他引:2
叙述了用近远场光学系统和CCD摄像机探测光束位置,微机图象处理技术计算光呸中心偏离误差并调整伺服反射镜,使光束自动恢复到原来位置。 相似文献
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