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激光等离子体软X光源8—20nm光谱辐射研究 总被引:1,自引:0,他引:1
郭玉彬 《光谱学与光谱分析》1998,18(3):265-268
研制了了一种脉冲重复频率为10Hz的激光等离子软X射线源;傅波长0.53μm和波长1.06μm的激光脉冲,聚焦在不同的金属靶上,使之离子化。 相似文献
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激光等离子体光源软X射线反射率计 总被引:7,自引:0,他引:7
介绍了所研制的激光等离子体光源软X射线反射率计,该反射率计由激光等离子体光源、掠入射光栅单色仪、样品室、真空系统、样品台、光电探测系统和计算机控制系统组成,工作波段8~30 nm,测量样品的最大尺寸为130 mm×120 mm×120 mm(长×宽×高),可以利用这台反射率计对软X射线波段光栅、滤光片和多层膜反射镜等光学元件进行测量和评估。为检验反射率计的性能指标,利用该反射率计对本室研制的软X射线多层膜反射镜的反射率进行了测量,测量结果与理论计算结果符合较好,反射率测量重复性为±0.6%。 相似文献
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通常对一种半圆柱壳槽靶与平面靶激光等离子体软X射线光谱空间分布特点和流体动力学行为的比较,证实这种槽形靶可以有效地提高槽区内等离子体温度,从而增强该区域内的软X'射线光谱发射. 相似文献
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金属等离子体软X光源的研制 总被引:1,自引:0,他引:1
一台金属等离子体软X光源在北京师范大学低能核物理所建成.为该光源配套研制了一台高频、高压恒流充电电源.该光源工作波长为0.8~2nm,单脉冲能量大于10J. A soft X ray source produced by metal plasma has been built in Institute of Low Energy Nuclear Physics. The characters of the source are measured.Its wavelength is 0.8~2.0 nm, pulse energy is 10 J.For this source a high frequence,high voltage power supply with constant current was developed. 相似文献
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通过数值求解等离子体流体力学方程组,研究了短脉冲激光打靶结束后形成的短密度梯度尺度等离子体的冷降温过程,讨论了热传导,膨胀作功,辐射损失三种冷却机制对降温过程的贡献,并用解流体力学方程组得到的等离子参数计算MgXI等离子体中波长小于20nm的所有可能跃迁的自发辐射放大增益系数,分析了它们与环境条件的关系,指出了在MgXI等离子体中获取水窗附近乃至水窗波段软X射线激光的可能性。 相似文献
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通过分析中等Z元素激光等离子体辐射特性,本文获得了丰富的类氧,类氟、类氖等离子线谱、连续谱及谱与原子序数之间关系。 相似文献
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报道了以固态CO2作为靶材的一咱新型激光等离子体软X射线源,与常规金属靶激光等离子体软X射线源相比,它是一种低污染的光源,深入研究正在进行中。 相似文献
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气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了一种无碎屑、高亮度、高工作频率的气体靶激光等离子体软X 射线源。其喷气阀门由压电陶瓷驱动 ,工作频率可达到 40 0Hz。与金属靶激光等离子体软X 射线源相比 ,此光源无碎屑。与喷嘴由电磁阀控制的气体靶激光等离子体软X 射线源相比 ,它有较高的工作频率。一工作在模拟模式的通道电子倍增器被用于探测来自光源的软X 射线辐射 ,其输出信号经过一电荷灵敏前置放大器进一步放大变成电压脉冲信号 ,脉冲幅度与输入电荷灵敏前置放大器的电量成正比。实验测得CO2 ,Xe和Kr在 8~ 2 2nm软X 射线投影光刻常用波段的光谱辐射特性。CO2 光谱包括类锂和类铍离子跃迁形成的线谱 ,Xe光谱是多电荷氙离子 4d 5f,4d 4f,4d 6p和 4d 5p跃迁所形成的光谱。Kr气体靶光谱包括类铜离子、类镍离子、类钴离子和类铁离子跃迁形成的线谱和连续谱。 相似文献
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软X射线-真空紫外波段光谱光源研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作。研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%,可作标准辐射源,用于真空紫外波段仪器光谱强度绝对辐射定标。研制成功的潘宁(Penning)光源、双等离子体光源和空心阴极光源,可以覆盖从十几个nm至几十nm波段范围,光谱辐射稳定性和重复性达±1.0%,提供不同工作气体在该波段的原子和离子线谱,用于光谱仪器的波长定标。所研制的激光等离子体光源,尤其是近期研制成功的无污染微液滴喷射靶激光等离子体光源,可以提供较高亮度的软X射线辐射,13.0 nm处激光-软X射线转换效率达0.75%/2π·sr/2%带宽,适合于光刻和该波段辐射计量研究。 相似文献
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利用神光Ⅱ上激光与等离子体相互作用得到的软X光,建立了基于多层镜的四通道软X光单色器系统。研究了光源的性能,测量了光源强度、单色器系统稳定性、相应通道的一致性。研究表明,采用多层镜作为脉冲光源的分光元件,可以得到具有较好单色性的强脉冲软X 光标定源。光源的光子能量为253 eV和820 eV,两能道的光源强度分别为1.8×1019 photon/(s·cm2)和3.2×1019 photon/(s·cm2)。在该标定源上可以实现XRD、平面镜、多层镜、透射光栅和滤片的标定。 相似文献
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根据近几年来国内外的有关文献,叙述了ICP光源的激光烧蚀固体进样方法的研究进展及其在物质成分分析中的应用。着重阐述了激光输出特性(输出波长、脉冲宽度、重复频率、能量密度)和环境气氛(氦气、氩气)对样品烧蚀过程的影响,讨论了激光烧蚀室、气溶胶传输管道及样品引入改进装置在蒸发物质被传输到ICP光源过程中的作用。获得较小而均匀的气溶胶颗粒和稳定高效地将烧蚀物质输送到ICP是完善激光烧蚀固体进样技术的关键环节,元素分馏效应及蒸发物沉积是影响分析性能的重要因素。作为实际例子,也讨论了激光烧蚀固体进样电感耦合等离子体发射光谱法/质谱法在金属、玻璃、有机物及其他样品分析方面的应用,对分析方法的准确度、精密度、检出限和灵敏度进行了简要论述。 相似文献
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A. N. Chumakov L. Ya. Min'ko V. V. Efremov N. A. Bosak 《Journal of Applied Spectroscopy》2002,69(2):305-309
We have investigated the indicatrices of the visible and IR radiation of laser plasma formed under irradiation of cadmium, indium, and silicon in the air by radiation from a monopulsed neodymium laser with a power density at the irradiation spot of up to 12 GW/cm2 on the first harmonic and up to 4 GW/cm2 on the second harmonic. It is shown that the radiant intensity indicatrices have a prolate form depending on the target material, the spectral range of observation, and the power density of the acting laser radiation. The radiant intensity of laser plasma in the 0.3–4.2 m range is approximately proportional to the laser radiation power density and depends on the target material. 相似文献
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Hannu Parviainen Jyri Näränen 《Journal of Quantitative Spectroscopy & Radiative Transfer》2011,112(11):1907-1918
We introduce a Monte Carlo ray tracing code for soft X-ray fluorescence in particulate media. We use the code to investigate the observation geometry dependent effects on absolute fluorescence line intensities and relative line ratios due to the medium porosity, incident spectrum, and particle size distribution. In particular, we assess the differences between the results given by the simulations and by the analytical fundamental parameters equation of X-ray fluorescence. 相似文献
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为了建立精确测定X光透镜发散度的实验方法,提出了有效X光源的概念,得到X光束发散度的准确值.推导出了X光束发散度的理论计算公式.零点扫描实验方法证明了理论公式的正确性.晶体转动实验方法测量了X光束的发散度,与理论值符合得很好,晶体转动实验方法应用到对X光透镜发散度的测定可以消除分析晶体不完整性的影响. 相似文献