SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析 |
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引用本文: | 魏贤华,张鹰,李金隆,邓新武,刘兴钊,蒋树文,朱俊,李言荣. SrTiO3同质外延过程中的反射高能电子衍射图案分析[J]. 物理学报, 2005, 54(1) |
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作者姓名: | 魏贤华 张鹰 李金隆 邓新武 刘兴钊 蒋树文 朱俊 李言荣 |
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摘 要: | 在激光分子束外延实验中,用RHEED原位监测了SrTiO3基片初始、退火以及同质外延过程中的表面形态.通过对RHEED图案分析,获取了表面面内的晶格常数振荡与衍射条纹的半高宽振荡现象,前者是由退火重构表面与薄膜之间的界面造成的,后者与二维岛边界的弛豫相关.另外还观察到了等离子体对入射电子束的影响而导致的RHEED强度振荡行为的相位移现象.
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关 键 词: | 反射高能电子衍射 SrTiO3 表面晶格常数及衍射强度振荡 |
Analysis of reflection high-energy electron diffraction pattern during SrTiO3 homoepitaxy |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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