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| 电场下悬浮六方氮化硼摩擦特性的研究 | |
| 作者姓名： | 陈星源 黄瑶 彭倚天 |
| 摘 要： | 六方氮化硼(hexagonal boron nitride,h-BN)因其良好的润滑性和绝缘性,在微纳机电系统中有巨大的应用潜力.本文通过基底刻蚀的工艺,在SiO2/Si基底上制备了微孔阵列,然后将h-BN转移到微孔基底上形成悬浮结构,利用原子力显微镜研究电场对悬浮h-BN摩擦特性的影响.结果表明:悬浮状态的h-BN的... |
| 关 键 词： | 摩擦力 悬浮六方氮化硼 原子力显微镜 静电力 |
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