| 双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化 |
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| 引用本文： | 张剑锋,徐宏亮,孙葆根. 双次曝光积分效应实现杂质浓度分布均匀化[J]. 强激光与粒子束, 2006, 18(1): 0-126 |
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| 作者姓名： | 张剑锋 徐宏亮 孙葆根 |
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| 作者单位： | 1.电子科技大学 光电信息学院, 成都 61 0054 |
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| 基金项目： | 中国科学院创新基金资助课题 |
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| 摘 要： | 激光诱导扩散中,当入射激光光强为高斯分布甚至均匀分布时，微小扩散区的温度分布不均匀。由于扩散系数是温度的函数，必将导致扩散后杂质浓度分布的均匀性较差，无法制作出高性能的p-n结。提出采用多次激光诱导扩散的积分效应来实现杂质浓度分布的均匀化整形。对于InP衬底的CO2激光诱导Zn扩散,利用温度闭环测控系统测得的基片表面热斑温度场分布，分析计算了两次激光诱导扩散重叠区域的浓度分布积分效应。在此基础上模拟计算出，用双次曝光积分效应做杂质浓度分布的均匀化整形时，基片上两次激光照射位置的最佳间隔为20 μm。这为改进激光诱导扩散工艺，用多次曝光实现面均匀的杂质浓度分布奠定了理论基础。
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| 关 键 词： | 激光诱导扩散 双次曝光积分效应 扩散杂质浓度分布 均匀化整形 |
| 文章编号： | 1001-4322(2006)01-0124-03 |
| 收稿时间： | 2005-04-29 |
| 修稿时间： | 2005-11-15 |
Calculation of spin response function in HLS |
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| ZHANG Jian-feng,XU Hong-liang,SUN Bao-gen. Calculation of spin response function in HLS[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2006, 18(1): 0-126 |
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| Authors: | ZHANG Jian-feng XU Hong-liang SUN Bao-gen |
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| Affiliation: | 1.School of Opto-electronic Information,University of Electronic Science and Technology,Chengdu 610054,China |
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| Abstract: | The method and experimental process to calibrate the energy of electron beam by resonant depolarization is discussed in this paper.As a characteristic function of spin dynamics,spin response function is an indispensable parameter of depolarization time.The spin response function at Hefei electron storage ring was calculated,and the result of spin response function in a period of the ring was presented.In the experiment of spin depolarization to calibrate HLS beam energy,the spin response function in the position of depolarization is 1.569 m,and the depolarization time is 60 s. |
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| Keywords: | Polarization Resonant depolarization Spin response function Beam envelope Spin resonant frequency |
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