Al_xGa_(1-x)As(100)表面性质的研究 |
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作者姓名: | 黄春晖 卢学坤 丁训民 |
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作者单位: | 复旦大学表面物理实验室(黄春晖,卢学坤),复旦大学表面物理实验室(丁训民) |
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摘 要: | 用紫外光电子能谱研究了Al_(0.7)Ga_(0.3)As的表面态结构,观察到Al_(0.7)Ga_(0.3)As在价带中的两个表面态结构。在1500L原子氢吸附后消失。研究了这两个表面态结构在热退火消除表面损伤过程中的变化。结合LEED和XPS的实验结果,确定在450℃左右的热退火可以有效地消除损伤,获得一个完整的Al_(0.7)Ga_(0.3)As(100)表面。
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