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| 光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析 | |
| 作者姓名： | 彭海峰 孙振 |
| 作者单位： | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,长春,130033 |
| 基金项目： | 国家重大专项基金(No. 2009ZX02205)资助 |
| 摘 要： | 柔性铰链与高准确度驱动器的结合是实现光学元件轴向精密调节的重要方法.本文介绍了一种采用柔性铰链的轴向精密调节机构,推导并得出了其实现精密调节的原理.通过对应用柔性调节机构的一种典型光机系统的刚度分析,得到在不超过柔性铰链材料屈服应力情况下,光学元件的最大轴向位移可以达到200μm以上;同时,对一种典型参量的柔性结构做了模态分析,得到其一阶固有频率为185.1Hz,证明了调节机构的固有频率满足工作要求.分析了驱动力在此种轴向调整机构中对镜片面形的影响,结果表明：调整机构在接近最大允许驱动力作用下对镜片面形影响为4.41nm,说明其对光学元件的面形影响较小.该研究结果为柔性光学元件轴向调节机构的应用提供了有力依据. |
| 关 键 词： | 柔顺铰链 面形分析 光刻物镜 固有频率特性 精密轴向调节 光学元件 |
| 收稿时间： | 2013-07-31 |
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