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| 基于正交超声驻波场的粒子运动建模和控制（英文） | |
| 作者姓名： | 吴立群 叶玅宏 王亚星 林志朋 杨贤龙 |
| 作者单位： | 杭州电子科技大学机械工程学院 |
| 基金项目： | supported by National Natural Science Foundation of China(51175134) |
| 摘 要： | 为了获得具有均匀的倒金字塔表面微结构的多晶硅,提出了一种新腐蚀加工方法。通过建立一个相互正交的超声驻波场,来协助硅的化学侵蚀并改善其对光的吸收能力。首先对硅片表面结构进行一些比较,在二维上建立网格状的数学模型。然后建立网格中粒子运动的控制理论模型,并进行仿真验证。最后设计实验用于检验超声驻波对粒子的运动控制效果。多晶硅侵蚀结果说明将超声驻波应用在网格化微加工上是可行、可靠的。 |
| 关 键 词： | 网格化微加工 超声驻波 粒子控制 多晶硅 |
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