| 聚合物微型谐振环波分复用器 |
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| 作者姓名： | 鄂书林 邓文渊 王鹏飞 李晓强 马春生 张大明 崔占臣 孙德贵 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室,吉林 长春,130033;2.空军航空大学仿真所, 吉林, 长春, 130021;3.吉林大学集成光电子国家重点实验室, 吉林, 长春, 130023 |
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| 基金项目： | 中国科学院"百人计划";中国科学院知识创新工程项目 |
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| 摘 要： | 研制出用于现代光通信密集波分复用(DWDM)系统的微型谐振环波分复用器(MRRWM)。微环与信道波导采用垂直耦合的方式,利用耦合模理论对器件参数进行了优化设计,设计出模板,并研制出符合器件光学性能要求的聚合物材料。利用反应离子刻蚀技术完成了硅基板上单级和八级的器件制作,波分复用器的中心波长为1.55μm,输出波长间隔Δλ=1.6nm,中心微环半径R=131.95μm,相邻微环半径差ΔR=500.0nm,器件测试结果表明实现了微环谐振输出。
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| 关 键 词： | 密集波分复用(DWDM) 微型谐振环 波分复用器 聚合物 |
| 文章编号： | 1000-7032（2005）04-0538-04 |
| 收稿时间： | 2004-08-25 |
| 修稿时间： | 2005-03-20 |
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