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用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜
作者姓名:张彬  林碧霞  傅竹西  施朝淑
作者单位:中国科学技术大学结构分析开放实验室, 安徽合肥230026;中国科学技术大学物理系, 安徽合肥 230026
基金项目:自然科学基金资助项目 ( 5 9872 0 37)
摘    要:本文报道了用电子束热蒸发技术制备ZnO薄膜,薄膜具有(002)取向,通过电子扫描显微镜确认晶粒大小在150nm左右,现有的薄膜在525nm处有强的光致发光。

关 键 词:氧化锌薄膜  电子束热蒸发  光致发光光谱
文章编号:1000-7032(2001)03-0309-03
收稿时间:2001-03-22
修稿时间:2001-03-22
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