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微型平面复合薄膜电爆炸开关的设计和研究(英文)
作者姓名:胡博  朱朋  沈瑞琪  叶迎华  吴立志  胡艳
作者单位:南京理工大学化工学院
基金项目:supported by National Natural Science Foundation of China(51201091)
摘    要:开关技术是影响爆炸箔起爆系统可靠作用、微型化、低能化、集成化的关键技术。电爆炸平面开关是利用强脉冲电流使触发极金属桥箔发生电爆炸,产生高温高压等离子体,使爆炸桥区两侧的电极导通。基于微加工技术,采用Al/CuO复合薄膜材料作为触发电极,设计制造了微型平面复合薄膜电爆炸开关。采用扫描电子显微镜、差示扫描量热法和光谱谱线测温研究了触发极Al/CuO复合薄膜的形貌、反应性和电爆炸等离子体温度,通过放电电流测试研究了开关性能。结果表明,在主回路电压2000V时,开关输出电流峰值约为1938A,上升时间390ns,性能优于仅以铜薄膜为触发电极的电爆炸平面开关。

关 键 词:爆炸箔起爆器  反应复合薄膜  微机电集成制造  平面爆炸开关
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