| Sn-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能 |
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| 引用本文： | 刘涛,赵小如,金宁. Sn-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能[J]. 人工晶体学报, 2015, 44(3): 740-745 |
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| 作者姓名： | 刘涛 赵小如 金宁 |
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| 作者单位： | 商洛学院电子信息与电气工程学院,商洛,726000;西北工业大学理学院应用物理系,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51172186,51302218) |
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| 摘 要： | ![]()
采用溶胶凝胶法在普通载玻片上制备了Sn-Al共掺杂ZnO薄膜(ZASO薄膜).利用XRD、扫描电子显微镜、霍尔测试仪、双电测四探针测试仪和紫外-可见分光光度计等设备,研究了Sn-Al掺杂浓度、预烧温度对氧化锌薄膜的晶体结构和光电性能的影响.结果表明:预烧温度为500℃,Sn、Al掺杂浓度分别为1.0at;时,得到的ZASO薄膜的综合光电性能最好,晶粒尺寸较大,方块电阻可达3.3 kΩ/□,光学透过率达92.9;.
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| 关 键 词： | 溶胶凝胶法 Sn-Al掺杂ZnO薄膜(ZASO) 掺杂浓度 预烧温度, |
Synthesis and Photoelectric Properties of Sn-Al Co-doped ZnO Films |
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| LIU Tao,ZHAO Xiao-ru,JIN Ning. Synthesis and Photoelectric Properties of Sn-Al Co-doped ZnO Films[J]. Journal of Synthetic Crystals, 2015, 44(3): 740-745 |
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| Authors: | LIU Tao ZHAO Xiao-ru JIN Ning |
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| Abstract: | ![]()
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