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基于光场调控的飞秒激光直写光波导研究进展(特邀)
引用本文:张彬,王磊,贾曰辰,等. 基于光场调控的飞秒激光直写光波导研究进展(特邀)[J].光子学报,2022,51(1):0151106DOI:10.3788/gzxb20225101.0151106
作者姓名:张彬  王磊  贾曰辰  陈峰
作者单位:.山东大学 物理学院 晶体材料国家重点实验室, 济南 250100
基金项目:National Natural Science Foundation of China(12174222);Major Fundamental Research Project of Shandong Provincial Natural Science Foundation(ZR2021ZD02)
摘    要:飞秒激光直写是一种无掩模、高效、灵活的三维加工技术,可以对材料实现微纳米级加工,已经成为应用最广泛的材料精密加工技术之一.基于光波导的微纳光子器件(如分束器、频率转换器和电光调制器等),不但可以保持块体材料本身的优异特性,还能极大提高器件的性能和集成度,具有块体材料器件所不具备的特点和优势.因此,对集成光波导和光波导器...

关 键 词:光场调控  飞秒激光直写  透明材料  光波导  光学器件
收稿时间:2021-10-06
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