| 基于PSD的高精度光电定心仪 |
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| 引用本文： | 张欣婷,安志勇. 基于PSD的高精度光电定心仪[J]. 应用光学, 2014, 35(1): 7 |
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| 作者姓名： | 张欣婷 安志勇 |
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| 作者单位： | 张欣婷:长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春 130022长春理工大学 光电信息学院，吉林 长春 130012
安志勇:长春理工大学 光电工程学院，吉林 长春 130022
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| 基金项目： | 国家973重点基础研究发展规划资助项目(2009CB72400603B)；中国科学院航空光学成像与测量重点实验室开放课题(Y2HC1SR123) |
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| 摘 要： | 针对目前定心仪精度不高、并依赖于人眼的现状，提出一种基于PSD的高精度定心仪研究方法。采用自准直光路形式和位置敏感探测器PSD对经过被测目标返回的光斑实行定位，并通过读取计算机上的坐标值来判断是否达到准确的定心。文中对定心仪的光学系统进行设计，并运用神经网络的训练来校正PSD的非线性，在测量范围±2 mm~±500 mm内定心精度达到1 μm的设计要求。
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| 关 键 词： | 光学设计 定心仪 高精度 PSD 非线性 |
| 收稿时间： | 2013-05-22 |
High-precision photoelectric centering instrument based on PSD |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optical design centering instrument high-precision position sensitive detector nonlinear |
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