| TiN/TiB2异结构纳米多层膜的共格生长与力学性能 |
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| 引用本文： | 魏仑,梅芳华,邵楠,董云杉,李戈扬. TiN/TiB2异结构纳米多层膜的共格生长与力学性能[J]. 物理学报, 2005, 54(10) |
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| 作者姓名： | 魏仑 梅芳华 邵楠 董云杉 李戈扬 |
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| 基金项目： | 上海市纳米科技专项基金 |
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| 摘 要： | 采用多靶磁控溅射法制备了一系列具有不同TiB2调制层厚度的TiN/TiB2纳米多层膜.利用x射线衍射仪、高分辨电子显微镜和微力学探针研究了TiB2层厚变化对多层膜生长结构和力学性能的影响.结果表明,在fcc-TiN层(111)生长面的模板作用下,原为非晶态的TiB2层在厚度小于2.9nm时形成hcp晶体态,并与fcc-TiN形成共格外延生长;其界面共格关系为{111}TiN∥{0001}TiB2,〈110〉TiN∥〈1120〉TiB.由于共格界面存在晶格失配度,多层膜中形成拉、压交变的应力场,导致多层膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应,最高硬度和弹性模量分别达到46.9GPa和465GPa.继续增加TiB2层的厚度,TiB2形成非晶态并破坏了与TiN层的共格外延生长,多层膜形成非晶TiN层和非晶TiB2层交替的调制结构,其硬度和弹性模量相应降低.
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| 关 键 词： | TiN/TiB2纳米多层膜 共格生长 晶体化 力学性能 |
The coherent growth and mechanical properties of non-isostructural TiN/TiB2 nanomultilayers |
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| Wei Lun,Mei Fang-Hua,Shao Nan,Dong Yun-Shan,Li Ge-Yang. The coherent growth and mechanical properties of non-isostructural TiN/TiB2 nanomultilayers[J]. Acta Physica Sinica, 2005, 54(10) |
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| Authors: | Wei Lun Mei Fang-Hua Shao Nan Dong Yun-Shan Li Ge-Yang |
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