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| 光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究 | |
| 作者姓名： | 杨玉孝 熊开利 孙艳 谭玉山 |
| 作者单位： | 西安交通大学激光红外研究所,西安,710049 |
| 基金项目： | 教育部“教育振兴行动计划”,西安交通大学自然科学基金 (2 0 0 10 0 1)资助项目 |
| 摘 要： | 运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式干涉光谱仪(ReflectromicInterferenceSpectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO |
| 关 键 词： | 反射式干涉光谱仪 薄膜 干涉 无损检测 |
| 收稿时间： | 2002-09-16 |
| 修稿时间： | 2002-09-16 |
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