| 基于微拉曼光谱技术的氧化介孔硅热导率研究 |
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| 引用本文： | 房振乾,胡 明,张 伟,张绪瑞. 基于微拉曼光谱技术的氧化介孔硅热导率研究[J]. 中国物理 B, 2008, 17(1): 103-110 |
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| 作者姓名： | 房振乾 胡 明 张 伟 张绪瑞 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院， 天津 300072;天津大学电子信息工程学院， 天津 300072;天津大学电子信息工程学院， 天津 300072;天津大学电子信息工程学院， 天津 300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号:60371030)和天津市自然科学基金(批准号:043600811)资助的课题. |
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| 摘 要： | 利用基于有效介质理论的介孔硅传热机理，提出一个用于分析氧化介孔硅热导率的理论模型，对影响氧化介孔硅有效热导率的因素进行了理论分析，得出用于计算氧化介孔硅有效热导率的计算公式. 采用双槽电化学腐蚀法制备介孔硅，利用微拉曼光谱技术研究了氧化介孔硅热导率随所制备介孔硅孔隙率的变化规律，比较了经不同温度处理的氧化介孔硅的导热性能差异. 孔隙率为60%，73.4%和78.8%的所制备介孔硅经300℃氧化处理后，其热导率值为8.625W/(m·K)，3.846W/(m·K)和1.817W/(m·K)；孔隙率为73.4
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| 关 键 词： | 理论模型， 氧化介孔硅， 微拉曼光谱， 有效热导率 |
Micro-Raman spectroscopic investigation of the thermal conductivity of oxidized meso-porous silicon |
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| Fang Zhen-Qian,Hu Ming,Zhang Wei and Zhang Xu-Rui. Micro-Raman spectroscopic investigation of the thermal conductivity of oxidized meso-porous silicon[J]. Chinese Physics B, 2008, 17(1): 103-110 |
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| Authors: | Fang Zhen-Qian Hu Ming Zhang Wei Zhang Xu-Rui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | theoretical model oxidized meso-porous silicon micro-Raman spectroscopy effective thermal conductivity |
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