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| 光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进 | |
| 引用本文： | 李之慧,陶然·瓦吉地,杨雅丽.光电极值法测厚多层介质膜镀膜机性能的几点改进[J].新疆大学学报(理工版),1980(1). |
| 作者姓名： | 李之慧 陶然·瓦吉地 杨雅丽 |
| 作者单位： | 新疆大学物理系激光室，新疆大学物理系激光室，新疆大学物理系激光室 |
| 摘 要： | 引言使激光技术普及应用并在我国社会主义建设中充分发挥其力量,这始终是激光研究的主要课题之一。我国第一台激光器运转已有十五年以上的历史。但是,至今没有普及,其中一个重要原因是激光器的售价太高,寿命不长,而要降低激光器的售价就要求提高激光器原件的质量,并降低其成本,特别是提高反射镜片的质量并降低其成本。为了这个目的,我们对“光电极值法”测厚多层介质膜镀膜机的性能作了改进,取得了明显的效果,可以说几个主要指标如保持基片和膜层的清洁、膜层厚度的相对精确上、低消耗电量上、设备 |
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