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| 电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响 | |
| 引用本文： | 张景基,赖珍荃,王震东,李新曦,钟双英,范定寰,黄志明.电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响[J].南昌大学学报(理科版),2007,31(4):380-383. |
| 作者姓名： | 张景基 赖珍荃 王震东 李新曦 钟双英 范定寰 黄志明 |
| 作者单位： | 1. 南昌大学,材料科学系,江西,南昌,330031 2. 南昌大学,物理学系,江西,南昌330031 3. 南昌大学,材料科学系,江西,南昌,330031;南昌大学,物理学系,江西,南昌330031 4. 中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家重点实验室,上海,200083 |
| 基金项目： | 江西省自然科学基金 , 中国科学院红外物理国家重点实验室开放基金 |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射(RF Magnetron Sputtering)工艺在Si片上分别制备Pt/Ti和LaNiO3 (LNO)底电极,然后在不同的底电极上沉积PbZr0.52Ti0.48O3(PZT)铁电薄膜,在大气环境中对沉积的PZT薄膜进行快速热退火处理(RTA).用X射线衍射(XRD)分析PZT薄膜的相结构和结晶取向,原子力显微镜(AFM)分析薄膜的表面形貌和微结构.再沉积LNO作为顶电极制成"三明治"结构的LNO/PZT/Pt和LNO/PZT/LNO样品,用 RT66A标准铁电测试系统分析样品的电学特性,傅立叶红外光谱仪分别测得样品的反射谱和透射谱.分析了不同电极对PZT铁电薄膜的铁电和光学性能的影响. |
| 关 键 词： | 射频磁控溅射 PZT铁电薄膜 快速热退火处理 底电极 铁电薄膜 光学性能 影响 PZT Thin Films Optical Properties Ferroelectric 透射谱 反射谱 红外光谱仪 傅立叶 电学特性 分析样品 测试系统 标准 三明治 再沉积 微结构 表面形貌 显微镜 |
| 文章编号： | 1006-0464（2007）04-0380-04 |
| 修稿时间： | 2006-05-16 |
Influence of Electrodes on Ferroelectric and Optical Properties of PZT Thin Films |
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| ZHANG Jing-ji,LAI Zhen-quan,WANG Zhen-dong,LI Xin-xi,ZHONG Shuang-ying,FAN Ding-huan,HUANG Zhi-ming.Influence of Electrodes on Ferroelectric and Optical Properties of PZT Thin Films[J].Journal of Nanchang University(Natural Science),2007,31(4):380-383. | |
| Authors: | ZHANG Jing-ji LAI Zhen-quan WANG Zhen-dong LI Xin-xi ZHONG Shuang-ying FAN Ding-huan HUANG Zhi-ming |
| Institution: | 1. Department of Material Science, Nanchang University, Nanchang 330031, China; 2. Department of Physics, Nanchang University, Nanchang 330031, China; 3. National Lab for Infrared Physics, Chinese Acdemic of Sciences, Shanghai 200083, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | RF magnetron sputtering PZT ferroelectric thin films rapid thermal annealing |
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