| 氩离子激光固化环氧树脂制作三维微结构 |
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| 引用本文： | 曾兆华,王霞,杨建文,汪河洲,陈用烈.氩离子激光固化环氧树脂制作三维微结构[J].高等学校化学学报,2002,23(6):1205-1206. |
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| 作者姓名： | 曾兆华 王霞 杨建文 汪河洲 陈用烈 |
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| 作者单位： | 1. 中山大学化学与化学工程学院高分子研究所
2. 超快速激光光谱学国家重点实验室,广州,510275 |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金 (批准号 :0 1110 4)，及国家自然科学基金 (批准号 :5 9973 0 2 7)资助 |
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| 摘 要： | 利用激光束进行三维成像是通过逐层光引发聚合形成宏观尺度的三维实体 .最近出现的激光全息光刻技术是利用激光束的干涉产生三维全息图案 ,让感光树脂在全息图案中曝光 ,从而一次形成三维周期有序微结构 .通过调节激光干涉及波长可控制三维结构的形状及尺寸 .利用该技术获得亚微米尺度上周期性重复的三维微结构 ,可用于制作三维光子晶体 1,2 ]等具有独特性能的聚合物材料 .本文用铁芳烃化合物与特种环氧树脂配制成阳离子型可见光固化树脂 ,在氩离子激光器产生的多束可见连续激光相干形成的空间干涉光场中曝光 ,成功地制备出亚微米量级的三…
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| 关 键 词： | 固化 环氧树脂 三维微结构 氩离子激光 全息光刻技术 感光树脂 铁芳烃 |
| 文章编号： | 0251-0790(2002)06-1205-02 |
Fabrication of Three-dimensional Microstructure by Argon Ion Laser Curing of Epoxy Resin |
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| ZENG Zhao Hua ,WANG Xia ,YANG Jian Wen ,WANG He Zhou ,CHEN Yong Lie.Fabrication of Three-dimensional Microstructure by Argon Ion Laser Curing of Epoxy Resin[J].Chemical Research In Chinese Universities,2002,23(6):1205-1206. |
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| Authors: | ZENG Zhao Hua WANG Xia YANG Jian Wen WANG He Zhou CHEN Yong Lie |
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| Institution: | ZENG Zhao Hua 1 *,WANG Xia 2,YANG Jian Wen 1,WANG He Zhou 2,CHEN Yong Lie 1 |
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| Abstract: | Visible light curable photoresist consisting of epoxy resin Epon SU8 and iron arene photo initiator Irgacure 261 was used to fabricate three dimensional microstructure by means of three dimensional holographic lithography technique. Argon ion laser with wavelength of 488 nm was used as light source in the experiments. Field emission microscope diagram showed the formation of three dimensional microstructure. It was found that the amount of photo initiator, the laser intensity and the exposure time are the key factors to obtain well defined three dimensional microstructure. |
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| Keywords: | Argon ion laser Holographic lithography technique Photoresist Microstructure |
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