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| 大功率激光制备a-C和a-C∶H类金刚石膜的光学性能研究 | |
| 引用本文： | 陈宝玲,赵立新,张冰,陈玉强,杨昕卉,彭鸿雁,金曾孙.大功率激光制备a-C和a-C∶H类金刚石膜的光学性能研究[J].高等学校化学学报,2006(6). |
| 作者姓名： | 陈宝玲 赵立新 张冰 陈玉强 杨昕卉 彭鸿雁 金曾孙 |
| 作者单位： | 牡丹江师范学院物理系 牡丹江157012(陈宝玲，张冰，陈玉强，杨昕卉，彭鸿雁)，牡丹江大学机电系 牡丹江157011(赵立新)，吉林大学超硬材料国家重点实验室 长春130012(金曾孙) |
| 基金项目： | 国家“八六三”计划新材料领域项目(批准号:715-002-0050)资助 |
| 摘 要： | 采用大功率高重复频率准分子激光溅射热解石墨靶制备了类金刚石碳膜,研究了实验条件对类金刚石膜光学性能的影响,发现氢可以提高膜中sp3键的含量和膜的光学透过率.在实验参数范围内,膜的光学性能随着氢压的增加而提高.根据类金刚石膜的反应沉积机理对上述结果进行了分析、解释. |
| 关 键 词： | 激光功率密度 类金刚石膜 光学性能 结构 |
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