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热诱导金属/聚合物膜系图案化控制的研究
引用本文:庄可,肖珂,王国杰,江雷.热诱导金属/聚合物膜系图案化控制的研究[J].高等学校化学学报,2004,25(1):157-158.
作者姓名:庄可  肖珂  王国杰  江雷
作者单位:中国科学院化学研究所分子科学中心,北京,100080
基金项目:国家自然科学基金 (批准号 :2 0 12 510 2 )资助
摘    要:近年来 ,在简单体系上形成复杂规则的图案已引起诸多学者的注意 ,其中以聚合物为母体的体系发展了模板、局部紫外照射和激光诱导等一系列技术 ,从而得到可控的表面图案1~ 6] .本文用激光刻蚀法对溅射在聚合物膜上的金属薄膜进行处理 ,在热诱导情况下使金属 /聚合物膜系表面产生了规则的图案 .薄膜热应力的可控释放作用和激光刻蚀造成的区域局限作用被认为是诱导这种可控图案产生的两种基本要素 .通过控制激光刻蚀区域 ,可控制薄膜表面形貌变化 ,从而实现可控的图案化设计 .1 实验部分1.1 原料及仪器 聚苯乙烯 (PS) :北京燕山石油化工…

关 键 词:PS/Pt聚合物膜  图案化  应力释放  激光刻蚀
文章编号:0251-0790(2004)01-0157-02
收稿时间:2003-06-30

Control of Thermally Induced Pattern Formation in Bilayer Metal/Polymer Films
ZHUANG Ke,XIAO Ke,WANG Guo-Jie,JIANG Lei.Control of Thermally Induced Pattern Formation in Bilayer Metal/Polymer Films[J].Chemical Research In Chinese Universities,2004,25(1):157-158.
Authors:ZHUANG Ke  XIAO Ke  WANG Guo-Jie  JIANG Lei
Institution:ZHUANG Ke,XIAO Ke,WANG Guo-Jie,JIANG Lei*
Abstract:We described the appearance of complex, patterned structures induced by the buckling of metal thin films owing to thermal contraction on a polymer substrate. Polystyrene(PS) films with thickness of 100 μm were casted onto a glass substrate, and the Pt thin films with thickness of 30 nm were deposited onto the polymer surface. The sample films were heated above the glass transition temperature of PS. After cooling to ambient temperature, the disordered wrinkles generated over the whole surface. When we ablated the top metal thin film by laser before heating the polymer, the disordered bucking wrinkles would transfer into ordered ridges pattern. This patterning process is arresting and potentially useful to fabricate optical devices such as diffraction gratings and optical sensors.
Keywords:PS/Pt polymer film  Patterning  Release of stress  Laser ablation
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