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| 单晶硅片上Silicalite-1沸石薄膜的合成 | |
| 引用本文： | 高金成,刘婧,杨梅,唐祯安,邹龙江,刘毅慧.单晶硅片上Silicalite-1沸石薄膜的合成[J].化学通报,2004,67(7):551-551. |
| 作者姓名： | 高金成 刘婧 杨梅 唐祯安 邹龙江 刘毅慧 |
| 作者单位： | [1]大连理工大学精细化工国家重点实验室，大连116012 [2]大连理工大学传感技术研究所 [3]大连理工大学材料测试分析中心，大连116023 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 单晶硅片 Silicalite-1沸石薄膜 合成 低温化学气相沉积 气相转移 二次生长法 直接原位晶化法 |
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