| JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除 |
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| 引用本文： | 张文德,李煊,陆敏.JEOL JSM-35C型扫描电子显微镜故障及排除[J].分析测试技术与仪器,2003,9(1):53-58. |
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| 作者姓名： | 张文德 李煊 陆敏 |
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| 作者单位： | 中国石化集团股份有限公司上海石化研究院,上海,201208 |
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| 摘 要： | 在介绍真空系统联锁控制流程图的基础上，选择了粗真空系统抽力变差、进样系统泄漏、真空联锁保护电路误动作、二次电子检测高压电路故障、二次电子检测电路故障、倍率放大器故障和图象放大倍率校正等七个有代表性的、已排除的故障实例进行深入分析研究，提出排除故障的思路和办法。
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| 关 键 词： | JSM－35C型扫描电子显微镜 故障 维修 真空系统联锁控制流程图 |
| 文章编号： | 1003-3757(2003)01-0053-06 |
| 收稿时间： | 2002/12/18 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2002年12月18 |
Faults Study and it Solution of JEOL JSM-35C Scanning Microscope |
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| ZHANG Wen-de,LI Xuan and LU Min.Faults Study and it Solution of JEOL JSM-35C Scanning Microscope[J].Analysis and Testing Technology and Instruments,2003,9(1):53-58. |
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| Authors: | ZHANG Wen-de LI Xuan and LU Min |
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| Institution: | Shanghai Petrochemical Research Institute of SINOPEC, Shanghai 201208, China;Shanghai Petrochemical Research Institute of SINOPEC, Shanghai 201208, China;Shanghai Petrochemical Research Institute of SINOPEC, Shanghai 201208, China |
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| Abstract: | The diagram of vacuum control is introduced. Typica l faults occurred are analyzed and Studied thoroughly. Ideas to resolve these fau lts are given. |
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| Keywords: | scanning microscope faults analyses |
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