| 金属β-二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜 |
| |
| 引用本文： | 许效红,侯云,王民,王弘,周爱秋.金属β-二酮化合物用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜[J].化学进展,2002,14(1):61-67. |
| |
| 作者姓名： | 许效红 侯云 王民 王弘 周爱秋 |
| |
| 作者单位： | 1. 山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100
2. 山东大学化学与环境科学学院,济南,250100 |
| |
| 基金项目： | 国家“8 6 3”新材料领域基金，山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题资助 |
| |
| 摘 要： | 对用于MOCVD法生长铁电氧化物薄膜的金属β－二酮化合物的制备、结构及性质进行了评述，对它们在生长铁电薄膜中的应用现状进行了介绍，并对它们的应用前景作了展望。
|
| 关 键 词： | 金属β－二酮化合物 金属有机化学气相沉积 铁电氧化物薄膜 MOCVD 结构 性质 制备 |
| 文章编号： | 1005-281(2002)01-0061-07 |
| 修稿时间： | 2000年12月1日 |
Metal β-Diketonates Used as Precursors for Ferroelectric Oxide Thin Films |
| |
| Xu Xiaohong,Hou Yun,Wang Min,Wang Hong.Metal β-Diketonates Used as Precursors for Ferroelectric Oxide Thin Films[J].Progress in Chemistry,2002,14(1):61-67. |
| |
| Authors: | Xu Xiaohong Hou Yun Wang Min Wang Hong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
