不同锡源对喷雾热解法制备SnO2薄膜的影响 |
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引用本文: | 徐英起,时方晓,王姝予,顾文梅.不同锡源对喷雾热解法制备SnO2薄膜的影响[J].广州化学,2023(1):51-57. |
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作者姓名: | 徐英起 时方晓 王姝予 顾文梅 |
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作者单位: | 沈阳建筑大学材料科学与工程学院 |
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摘 要: | 使用SnCl2和SnCl4的乙醇溶液作为锡源,应用超声喷雾热解法制备了SnO2薄膜,考察了不同氧化剂用量和衬底预热处理对薄膜结构和性能的影响。使用X-射线衍射仪及扫描电子显微镜对薄膜进行结构及表面形貌分析,使用紫外分光光度计和四探针测试仪分析薄膜的光电性能。结果表明,SnCl2作为锡源,加入10%氧化剂,衬底在800℃条件下预热处理后制备出的SnO2薄膜,透过率高达90%,方块电阻为7.32Ω/□,电阻率为1.93×10-3Ω·cm的,达到了透明导电薄膜的要求。
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关 键 词: | 超声喷雾热解 SnO2薄膜 可见光透过率 方块电阻 电阻率 |
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