| Au膜结构及其微观应变的测定 |
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| 引用本文： | 何荔,丛秋滋,孙嘉奕.Au膜结构及其微观应变的测定[J].分析测试学报,1999,18(6):1-4. |
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| 作者姓名： | 何荔 丛秋滋 孙嘉奕 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室!兰州730000 |
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| 基金项目： | 中国科学院大型仪器功能开发基金 |
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| 摘 要： | 介绍用Ｘ－ 射线衍射方法测定Ａｕ 薄膜材料结构及其微观应变 。利用不对称布拉格反射ＳＴＤ（ｓａｍｐｌｅ ｔｉｌ＿ｔｉｎｇ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ） 扫描模式与常规ＣＢＤ（ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎａｌ Ｂｒａｇｇ ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ） 扫描模式， 确定Ａｕ 膜的结构及取向， 同时采用直接测量法（ 非卷积法） 来测定Ａｕ 的微观应变。
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| 关 键 词： | X射线衍射 金 膜 微观应变 |
Determination of Structure of Au Film and Its Microstrains |
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| He Li,Cong Qiuzi,Sun Jiayi.Determination of Structure of Au Film and Its Microstrains[J].Journal of Instrumental Analysis,1999,18(6):1-4. |
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| Authors: | He Li Cong Qiuzi Sun Jiayi |
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| Abstract: | A method for the determination of structure of Au film and its microstrain with X _ ray diffractometer is reported. The asymmetrical Bragg reflection STD scan mode with the conventional X _ ray diffraction CBD mode is used to determine phase composition and orientation of Au film. The microstrains of Au film are determined by direct measurement method(non _ convolution method) using X _ ray diffraction at the same time. |
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| Keywords: | X _ ray diffraction Au Film Microstrain |
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