| 辉光放电质谱测量中的相对灵敏度因子研究 |
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| 引用本文： | 唐一川,周涛,徐常昆.辉光放电质谱测量中的相对灵敏度因子研究[J].分析测试学报,2012,31(6):664-669. |
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| 作者姓名： | 唐一川 周涛 徐常昆 |
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| 作者单位： | 1. 中国计量科学研究院,北京,100013
2. 中国原子能科学研究院,北京,102413 |
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| 摘 要： | 辉光放电质谱(GDMS)作为高纯金属和半导体材料分析的强有力工具在国内已得到了大量应用,该文简要介绍了GDMS的基本原理和国内外应用现状,对仪器测量条件的选择、测量重复性进行了详细研究,对于含量在1 mg/kg左右的杂质,测量的重复性将产生约1%～5%的不确定度;对不同金属基体的系列标准物质进行对比研究,发现对于基体相同的样品,杂质元素在较宽的浓度范围内可以使用同样的校正系数进行校正,大部分元素的线性相关系数达到0.999以上,但对于不同基体的样品,测量中仍存在明显的基体效应,一些元素,尤其是轻质量数元素的相对灵敏度因子(RSF)设定值存在较大的偏差,并不适合定量分析,但绝大部分不超过2倍误差,可以满足半定量分析的要求。通过对GDMS定量分析中关键因素的研究,认为相对灵敏度因子的校正是GDMS测量结果可溯源性的关键。
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| 关 键 词： | 辉光放电质谱 相对灵敏度因子 定量分析 基体效应 |
Research of Relative Sensitivity Factors by Using Glow Discharge Mass Spectrometry |
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| TANG Yi-chuan
,
ZHOU Tao
,
XU Chang-kun.Research of Relative Sensitivity Factors by Using Glow Discharge Mass Spectrometry[J].Journal of Instrumental Analysis,2012,31(6):664-669. |
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| Authors: | TANG Yi-chuan ZHOU Tao XU Chang-kun |
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| Institution: | 1.National Institute of Metrology,Beijing 100013,China;2.China Institute of Atomic Energy,Beijing 102413,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | glow discharge mass spectrometry(GDMS) relative sensitivity factors quantitative analysis matrix effect |
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