| 采用Seemann－Bohlin准聚焦X射线衍射仪测量薄膜厚度的误差理论分析 |
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| 引用本文： | 于志伟,黑祖昆,马永庆,王亮.采用Seemann－Bohlin准聚焦X射线衍射仪测量薄膜厚度的误差理论分析[J].分析测试学报,1996(5). |
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| 作者姓名： | 于志伟 黑祖昆 马永庆 王亮 |
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| 作者单位： | 大连海事大学金属材料研究所 |
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| 摘 要： | 本文从理论上分析了衍射强度比偏差Δ（Ｉ／Ｉ∞）和衍射峰位偏差Δ２θ对Ｓｅｅｍａｎｎ－Ｂｏｈｌｉｎ准聚焦Ｘ射线衍射仪测量表面单层薄膜厚度误差的影响。分析结果表明，降低Δ（Ｉ／Ｉ∞）可提高膜厚的测量精度，在Δ（Ｉ／Ｉ∞）－定的情况下，按μρｔ［Ｓｉｎ（－１）γ＋Ｓｉｎ（－１）（２θ－γ）］＝１选择靶辐射和衍射晶面可使由Δ（Ｉ／Ｉ∞）导致的膜厚测量误差具有极小值；选择高角度衍射线有助于减小试样离焦引起的衍射峰位偏差，亦可降低因衍射角测量偏差导致的膜厚测量误差，当衍射线处于薄膜的法向２θ＝γ＋π／２时，角度项误差（Δｔ／ｔ）（２θ）完全消除。
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| 关 键 词： | Seemann－BohlinX射线衍射仪，膜厚测量，误差分析。 |
Error Analysis of Film Thickness Measurements with Seemann-Bohlin Quasi-Focusing X-ray Diffractometer |
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| Yu Zhiwei,Hei Zukum,Ma Yongqing,Wang Liang.Error Analysis of Film Thickness Measurements with Seemann-Bohlin Quasi-Focusing X-ray Diffractometer[J].Journal of Instrumental Analysis,1996(5). |
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| Authors: | Yu Zhiwei Hei Zukum Ma Yongqing Wang Liang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Seemann-Bohlin X-ray diffractometer Film thickness measurement Error analysis |
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