| 含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展Ⅱ含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用 |
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| 引用本文： | 刘金刚,何民辉,王丽芳,杨海霞,李彦峰,范琳,杨士勇.含氟聚酰亚胺及其在微电子工业中的研究进展Ⅱ含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用[J].高分子通报,2003(4):10-24. |
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| 作者姓名： | 刘金刚 何民辉 王丽芳 杨海霞 李彦峰 范琳 杨士勇 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院化学研究所,工程塑料国家重点实验室,分子科学中心,北京,100080
2. 兰州大学,兰州大学化学化工学院,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 杰出青年基金(59925310);工程塑料国家重点实验室研究基金(SKLEP0061) |
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| 摘 要： | 综述了近年来国内外在含氟聚酰亚胺(PI)研究及应用领域中的最新进展情况。主要从现代微电子工业对相关材料的性能要求、标准型聚酰亚胺材料所面临的挑战以及新型含氟聚酰亚胺在微电子工业中的应用等几个方面进行了详细的综述。重点阐述了中国科学院化学研究所305组近几年在这方面的研究进展情况。并指出为了推动我国微电子工业的发展，研制开发低成本、高技术含量的含氟聚酰亚胺材料具有十分重要的现实意义．
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| 关 键 词： | 含氟聚酰亚胺 微电子工业 研究进展 应用 低介电常数材料 取向膜 集成电路 光波导材料 非线性光学材料 |
Fluorinated Polyimides and the Applications in Microelectronics Industry Ⅱ.Application of Fluorinated Polyimides in Microelectronics Industry |
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| LIU Jin\|gang ,HE Min\|hui ,WANG Li\|fang ,YANG Hai\|xia ,LI Yan\|feng ,FAN Lin ,YANG Shi\|yong.Fluorinated Polyimides and the Applications in Microelectronics Industry Ⅱ.Application of Fluorinated Polyimides in Microelectronics Industry[J].Polymer Bulletin,2003(4):10-24. |
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| Authors: | LIU Jin\|gang HE Min\|hui WANG Li\|fang YANG Hai\|xia LI Yan\|feng FAN Lin YANG Shi\|yong |
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| Institution: | LIU Jin\|gang 1,HE Min\|hui 1,WANG Li\|fang 2,YANG Hai\|xia 2,LI Yan\|feng 2,FAN Lin 1,YANG Shi\|yong 1 |
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| Abstract: | In the article,the latest research and application development of fluorinated polyimides have been summarized.Fluorinated polyimides have been widely used in many high technical fields for the excellent thermal properties,electrical properties and mechanical properties.In recent years,with the development of microelectronics industry,fluorinated polyimides are gaining increasing attention in passivation and packaging applications.The applications of fluorinated polyimides in electro\|optic ansd liquid crystal display (LCD) and low dielectric constant materials fields,especially the corresponding works of institute of chemistry were discussed in detail.In order to meet the stringent needs of microelectronics industry on materials,the functional fluorinated polyimides must be researched and developed. |
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| Keywords: | Fluorinated polyimides Microelectronic LCD Low dielectric constant |
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