| 化学溶液分解法制备(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜 |
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| 引用本文： | 杨冬梅,韩建儒,袁春雪,姜付义.化学溶液分解法制备(Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜[J].中国稀土学报,2007,25(4):505-508. |
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| 作者姓名： | 杨冬梅 韩建儒 袁春雪 姜付义 |
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| 作者单位： | 山东大学晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100 |
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| 摘 要： | 采用化学溶液分解法（CSD）在p—Si（111）衬底上制备了（Bi0.9Nd0.1）2Ti2o7薄膜。用X射线衍射技术分析了薄膜的结构和结晶性，结果显示，在600℃退火10min得到了结晶性较好、表面致密的多晶薄膜；用原子力显微镜描述了薄膜的表面形貌，与在XRD中观察到的择优取向是一致的；同时还研究了薄膜的电学性能。结果表明，在0～6V范围内，薄膜的漏电流小于1．53×10^10A；在室温100kHz下，其介电常数为166，介电损耗因子为0．227，显示出薄膜具有较好的绝缘性和介电性能。
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| 关 键 词： | 化学溶液分解法 (Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7薄膜 介电常数 稀土 |
| 文章编号： | 1000-4343（2007）04-0505-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-20 |
Preparation of (Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7 Thin Films on p-Si Substrates by Chemical Solution Deposition |
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| Yang Dongmei,Han Jianru,Yuan Chunxue,Jiang Fuyi.Preparation of (Bi0.9Nd0.1)2Ti2O7 Thin Films on p-Si Substrates by Chemical Solution Deposition[J].Journal of the Chinese Rare Earth Society,2007,25(4):505-508. |
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| Authors: | Yang Dongmei Han Jianru Yuan Chunxue Jiang Fuyi |
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| Institution: | State Key Laboratory of Crystal Materials, Shandong University, Jinan 250100, China |
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