以N_2作冷却气的小功率和低气流ICP光源性能之研究

一、前言 Greenfield等所使用的高功率(4—15千瓦)、低频率(7兆赫)N_2—Ar ICP和Fassel、Boumans所使用的低功率(0.5—2.5千瓦)、高频率(27—50兆赫)的Ar ICP是当今发射光谱分析用的电感耦合高频等离子体的两大类型,这两类ICP都具有良好的分析性能,并已广泛应用于分析工作。但从气体的消耗量和分析设备的成本来看,前者通常消耗N_2 20—70升/分,Ar 10—35升/分,且高功率发生器结构复杂,成本较高;而后者仅消耗Ar 10—20升/分,似乎更可取一些。