| 制造玻璃微流控芯片的简易加工技术 |
| |
| 引用本文： | 殷学锋,沈宏,方肇伦.制造玻璃微流控芯片的简易加工技术[J].分析化学,2003,31(1):116-119. |
| |
| 作者姓名： | 殷学锋 沈宏 方肇伦 |
| |
| 作者单位： | 浙江大学化学系微分析系统研究所,杭州,310028 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (No .2 0 2 990 3 0 ) |
| |
| 摘 要： | 报道了在普通化学实验室中设计和加工玻璃微流控芯片的方法。用Adobe Illustrator 8.0软件微流控片图形，通过高分辨率激光照排机在照相底片上制得光刻掩模。用商品匀胶铬板表面的145nm Cr/570nm Az-1805光胶层作为保护层，在50℃刻蚀液（1mol/L HF 1mol/L NaF)中，刻蚀速度为2μm/min。通过彻底洗净加工好的玻璃基片，提高了芯片热键合的质量和成品率。制得的芯片已成功地用于氨基酸分离和PCR扩增。
|
| 关 键 词： | 玻璃微流控芯片 微加工技术 掩模 湿法刻蚀 键合 光刻 |
A Simplified Microfabrication Technology for Production of Glass Microfluidic Chips |
| |
| Yin Xuefeng ,Shen Hong,Fang Zhaolun.A Simplified Microfabrication Technology for Production of Glass Microfluidic Chips[J].Chinese Journal of Analytical Chemistry,2003,31(1):116-119. |
| |
| Authors: | Yin Xuefeng Shen Hong Fang Zhaolun |
| |
| Institution: | Yin Xuefeng *,Shen Hong,Fang Zhaolun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Microfluidic chips microfabrication photolithography wet etching chip bonding |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
