| 用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究 |
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| 引用本文： | 吴建刚,岳瑞峰,曾雪锋,康明,胡欢,王喆垚,刘理天.用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究[J].分析化学,2006,34(7):1042-1046. |
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| 作者姓名： | 吴建刚 岳瑞峰 曾雪锋 康明 胡欢 王喆垚 刘理天 |
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| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.10472055,60401009)，清华大学基础研究资金(No.JC2003060,JC2003061) |
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| 摘 要： | 研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-d ielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片。它采用“三明治”结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(AF1600薄膜的S iO2作为疏水性介质层;上极板是涂覆有Teflon(AF1600疏水薄膜的透明电极。通过分析数字化微流控系统的基本操作(离散液滴的传输、拆分及混合)的物理机理和模拟优化,在35 V低驱动电压下实现了约0.35μL和0.45μL去离子水离散液滴的传输和合并,并在70 V驱动电压下实现了0.8μL液滴的拆分等操作。
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| 关 键 词： | 数字化微流控芯片 微机械 表面张力 介质上电润湿 |
| 收稿时间： | 10 25 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 2005-10-252006-03-08 |
Studies on Digital Microfluidic Chip for Micro-Total-Analysis Systems |
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| Wu Jiangang,Yue Ruifeng,Zeng Xuefeng,Kang Ming,Hu Huan,Wang Zheyao,Liu Litian.Studies on Digital Microfluidic Chip for Micro-Total-Analysis Systems[J].Chinese Journal of Analytical Chemistry,2006,34(7):1042-1046. |
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| Authors: | Wu Jiangang Yue Ruifeng Zeng Xuefeng Kang Ming Hu Huan Wang Zheyao Liu Litian |
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| Institution: | Institute of Microelectronics,Tsinghua University,Beijing 100084 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Digital microfluidic chips micro-electro-mechanical system surface tension electrowetting on dielectric |
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