X射线光电子能谱谱图解迭的曲线拟合程序

一、前言近年来,X射线光电子能谱(简称XPS)已成为表面科学研究中主要的物理方法之一。此法用X射线作为激发源,测量自由分子及固态物质中元素的轨道电子结合能。当某种元素的原子与其他元素的原子化合成分子时,如果原子的键合状态和价态结构不同,所得到的XPS谱图通常会发生不同的化学位移。由于谱仪分辨能力的限制以及这种化学位移一般较小,常常是若干个能谱峰迭加在一起,形成了一个“包络峰”。为了获得物质中某些特定元素的化学状态信息,必须将“包络峰”解析为组分峰。因此,在XPS谱图原始数据数学处理过程中,选择适宜的解迭方法,是谱图理论解析的重要步骤之一。